The invention discloses a detection device used in in situ optical, atomic layer deposition equipment, including optical measurement systems and optical lens assembly, optical testing system is arranged in the reaction chamber outside the atomic layer deposition device, optical lens assembly including a lens supporting cavity and a set of optical lens, lens in the cavity of the angular component and an optical lens extension tube that corner assembly are respectively connected with both ends of the optical lens and the optical lens extension tube; optical testing system by optical components and optical lens extension tubes are connected to form a testing light path; the lens cavity through the first flange component is fixed on the side wall of the reaction chamber. The invention can be used for optical nondestructive testing and can control the mode of the initial growth stage of the film with the assistance of optical in-situ detection. At the same time, the atomic layer deposition system, design and further development of new artificial modification for two-dimensional film semiconductor materials, all kinds of high quality, with specific properties of the preparation, to provide theoretical and experimental basis for the powerful.
【技术实现步骤摘要】
一种原位光学检测装置
本专利技术涉及原子层沉积
,具体涉及一种原位光学检测装置。
技术介绍
高质量薄膜材料的制备是研究物性和探索应用的前提和基础。原子层沉积(ALD)技术是目前最先进的薄膜沉积技术之一,其独特的沉积方式(单原子逐层沉积)使得制备的薄膜在均一性、粗糙度等性能方面有了很大的改进,除生长速率较低外,其余方面都优于其他沉积方式。原子层沉积(ALD)可简单精确的实现原子层厚度控制,还能实现对薄膜缺陷、掺杂的精确控制,进而控制薄膜的能带。随着微电子技术的发展,对材料的需求降为纳米量级,同时器件的深高宽比需求,使得ALD优势日益凸显。另一方面,检测与控制是设备研发体系中的眼睛和双手,已成为材料科学研究中必备的技术基础和能力。然而ALD的反应机理、特别是在成膜初期的薄膜与衬底及层间吸附反应的作用机理及反应动力学,因缺乏合适的原位检测技术一直存在未曾探索的空白。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种原位光学检测装置,可在ALD系统薄膜生长进程中实时进行原位光学检测。为了达到上述目的,本专利技术采用的技术方案为:一种原位光学检测装置,应用于原子层沉积设备,包括光学测试系统和光学镜头配套组件,所述光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部,所述光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在所述镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管,所述转角组件两端分别连接所述光学镜头和所述光学镜头延长管;所述光学测试系统通过光学组件与所述光学镜头延长管连接,形成测试光路;所述镜头腔通过第一法兰组件固定在所述反应腔室的侧壁上。上述方案中,所述光学镜头为高精度长焦镜头。上述方 ...
【技术保护点】
一种原位光学检测装置,应用于原子层沉积设备,其特征在于:包括光学测试系统和光学镜头配套组件,所述光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部,所述光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在所述镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管,所述转角组件两端分别连接所述光学镜头和所述光学镜头延长管;所述光学测试系统通过光学组件与所述光学镜头延长管连接,形成测试光路;所述镜头腔通过第一法兰组件固定在所述反应腔室的侧壁上;所述光学镜头为高精度长焦镜头;所述光学镜头配套组件还包括波纹管和伸缩组件,所述波纹管设置在所述镜头腔和所述第一法兰组件之间,所述伸缩组件设置在所述光学镜头延长管的外端,所述波纹管在所述伸缩组件进行伸缩位移时对应进行同步伸缩;所述光学测试系统包括光源、收集系统、分光系统和检测系统;所述光源,用于发出入射光信号;所述收集系统,用于将入射光信号入射至待测样品表面,之后所述待测样品表面发出多种待测信号;所述分光系统,用于滤除所述待测信号中的干扰光学信息;所述检测系统,用于对捕获的待测信号进行检测。
【技术特征摘要】
1.一种原位光学检测装置,应用于原子层沉积设备,其特征在于:包括光学测试系统和光学镜头配套组件,所述光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部,所述光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在所述镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管,所述转角组件两端分别连接所述光学镜头和所述光学镜头延长管;所述光学测试系统通过光学组件与所述光学镜头延长管连接,形成测试光路;所述镜头腔通过第一法兰组件固定在所述反应腔室的侧壁上;所述光学镜头为高精度长焦镜头;所述光学镜头配套组件还包括波纹管和伸缩组件,所述波纹管设置在所述镜头腔和所述第一法兰组件之间,所述伸缩组件设置在所述光学镜头延长管的外端,所述波纹管在所述伸缩组件进行伸缩位移时对应进行同步伸缩;所述光学测试系统包括光源、收集系统、分光系...
【专利技术属性】
技术研发人员:解婧,李超波,夏洋,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:北京,11
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