下载旋转式沉积设备的技术资料

文档序号:8653355

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本发明公开了一种旋转式沉积设备,其包括:至少一个玻璃面板保持架,保持玻璃面板;至少一个第一旋转装置,旋转玻璃面板保持架;至少一个沉积源,存储沉积材料,沉积源将沉积材料排放到玻璃面板上;以及至少一个隔间,隔间中包含玻璃面板保持架、第一旋转装置...
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