【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种通过至少一种辐射源，特别是一种激光辐射源在一待涂覆物体上涂覆固体涂层的方法和装置，该方法中包括以下步骤移除一样品，该样品包括多个不同的材料部分，通过该辐射源发射一光束以将该样品表面的该材料从固体状态转换成气体状态，也称作气相，以在该待涂覆物体上沉积一薄膜。
技术介绍
在涂层的制备中，尤其是防腐蚀和防材料磨损的保护层、光学涂层和具有超导或者铁磁性的功能涂层的制备、以及在计量学与自动控制工程中，根据涂层的不同功能，需要涂层薄至几个纳米到几个微米。这些类型的涂层通常是通过激光束气化的方法来制成的。 在这种方法中，用于涂覆的材料通常为圆盘状的样品。通过使用高能量脉冲激光，将样品表面的材料从固体状态转换成气体状态并且同时进行定向加速，这样由该样品表面的移除材料转变而成的气态材料云会以薄的固体涂层的形式沉积在邻近的物体上。但是，材料粒子容易在气化的状态下凝聚。倘若这些凝聚物沉积于该待涂覆的物体上，由于形成了一厚度不均匀的固体涂层，所沉积的固体涂层的质量就受到了损害，然而均匀的厚度对于固体涂层的应用是至关重要的，尤其在控制工程和自动控制工程中对电信号的正确传...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：迪特尔·费舍尔，马丁·扬森，舍曼·F·德拉富恩特莱斯，
申请(专利权)人：马克斯普朗克科学促进协会，
类型：
国别省市：
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