【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种手动光刻机设备
，特别是涉及一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构。
技术介绍
手动光刻机对准工作台的Z向粗微动机构要求Z向能够快速上升或下降，又能够微量上升或下降，实现基片涂胶面与掩模版图形面找平、锁紧、微分离、再接触工作，同时具有对片厚进行自动补偿和找平力简便调节功能。该机构是手动光刻机的核心部件一-对准工作台中的关键机构之一，该机构直接体现手动光刻机的研制、生产、制造、装配等技术水平，是手动光刻机的关键技术之一。国内外手动光刻机的Z向升降、微分离机构都是自行研制的，在世界范围内没有单独生产制造商销售，无从购买。国内光刻机目前配置的Z向升降机构，一般采用膜片气缸或螺纹传动实现升降运动。采用膜片气缸实现升降运动时，找平力大小受压缩空气压力变化的影响波动范围大，而且微分离量是一个固定值不可调整，无法实现微分离量的变动，影响对准的精度；采用螺纹传动实现升降运动时，没有粗微动之分，找平力、微分力量的大小完全凭个人的经验来确定，影响芯片图形的质量。为此，研制开发快速抬升找平、锁紧，微量分离对准再接触的Z向的粗调、微动机构是非常必要的。专利技术内...
【技术保护点】
一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构，其特征在于：所述手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构由差动螺纹机构、棘轮磨擦力调整机构、摩擦式棘轮机构、粗动锁紧机构、微动限位装置和粗动限位装置以及结构架（1）组成；所述差动螺纹机构由结构架（1）上固接一个大丝杠母（5），所述大丝杠母（5）螺纹连接大丝杠（4），所述大丝杠（4）外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的T字形，所述大丝杠（4）轴心设有中心装配孔，装配孔上部呈阶梯状，所述装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母（8），所述小丝杠母（8）螺纹连接小丝杠（7），装配孔下部置有一个顶柱（2），所述小丝杠（7）与所述顶柱（2）之间设有一个传动钢球...
【技术特征摘要】
1.一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构，其特征在于所述手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构由差动螺纹机构、棘轮磨擦力调整机构、摩擦式棘轮机构、粗动锁紧机构、微动限位装置和粗动限位装置以及结构架(I)组成； 所述差动螺纹机构由结构架(I)上固接一个大丝杠母(5)，所述大丝杠母(5)螺纹连接大丝杠(4)，所述大丝杠(4)外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的T字形，所述大丝杠(4)轴心设有中心装配孔，装配孔上部呈阶梯状，所述装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母(8)，所述小丝杠母(8)螺纹连接小丝杠(7)，装配孔下部置有一个顶柱(2)，所述小丝杠(7)与所述顶柱(2)之间设有一个传动钢球(6)，所述大丝杠(4)的顶端面上设有一个粗调棘轮(9)，所述粗调棘轮(9)下面设有环状的弧面棘齿，所述粗调棘轮(9)有间隙地通过其轴孔套接在所述小丝杠母(8)上部的外径上，粗调棘轮(9)设有的凹槽底上置有一个套接在小丝杠母(8)上的环形压板(10)，所述环形压板(10)通过螺钉固定在所述大丝杠(4)的上端面上，所述粗调棘轮(9)通过所述螺钉的连接有间隙的处在环形压板(10)与粗调棘轮(9)上表面之间，所述小丝杠(7)通过其上设置的圆锥台与微调手轮(11)设置的圆锥孔连接，并且微调手轮(11)通过固定螺母(13)固定在所述小丝杠(7)上构成； 所述棘轮磨擦力调整机构由大丝杠(4)上部的大圆柱体内对称设有两个通孔，顶端面上设有一个环形槽，所述两个通孔的上端口处在所述环形槽内，所述大圆柱体下端环形面固定一个环形挡板(20 )，所述环形挡板(20 )上设有两个螺纹孔，所述环形挡板(20 )上的两个螺纹孔与大圆柱体的两个通孔分别同轴心，所述环形挡板(20)上的两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：周占福，甄万财，刘玄博，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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