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一种手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构，涉及接近接触式手动光刻机设备技术领域。由差动螺纹机构、棘轮磨擦力调整机构、摩擦式棘轮机构、粗动锁紧机构、微动限位装置和粗动限位装置以及结构架组成。通过大导程的多头螺纹实现Z向粗动，又通过安装在粗动上的...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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