【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种宏微两级精密驱动装置，属于精密定位
，具体的说是一种基于非对称压电驱动的宏微定位工作台。
技术介绍
精密定位技术的领域范围十分广泛，在微型机械，微型装配、IC制造中芯片光刻与封装、MEMS制造中的器件封装与组装、生物医学工程中的点样移液等领域被广泛应用。由于精密定位技术直接影响机械产品精度及表面质量，故在机械制造业中对精密定位技术提出了更高的要求，这成为制约尖端产业和国防技术发展的重要因素。从国内外目前对精密定位技术的研究来看，为了实现大行程高精度的位移，一般采用宏微两级定位方式:宏定位工作台完成系统的高速度、大行程、低分辨率的运动；微定位工作台用来补偿宏定位误差和抑制残余振动，从而获得整个超精密定位工作台系统总体上的大彳丁程、尚速度、尚精度、尚频响等指标，有效提尚系统的分辨率和定位精度并提尚系统响应速度。现今定位系统大多采用直线电机、旋转电机结合滚珠丝杆等作为驱动装置，这样虽然可以提高其为已经读，但是成本较高，同时存在维修困难等问题。因此，能否在传动机构使用滚珠丝杆，降低成本的同时提高定位系统的定位精度具有重要意义。
技术实现思路
...
【技术保护点】
一种非对称压电驱动宏微定位工作台，宏动部分采用步进电机作为原动件，大导程滚珠丝杆副和光轴做传动装置；其特征是：步进电机安装到电机支座上，步进电机与丝杆通过联轴器相连，光杆及光杆支座安装在底座上，丝杆滑块作为宏动工作台，通过丝杆螺母与丝杆相连；微动部分采用压电非对称惯性驱动器作为原动件，直线导轨，滑块作为传动部分，其特征在于：直线导轨通过螺栓与宏动工作台相连，滑块配合在导轨上，微动工作台通过螺钉与滑块相连，压电双晶片通过螺栓固定在微动工作台上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑丁斌，温建明，金丽玲，张婷园，王丹，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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