【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半自动探针台探针的防护装置，尤其涉及一种防止半自动探针台 探针烧针的装置。
技术介绍
在晶圆级别可靠性测试中，需要测量介质的击穿电压，在介质被击穿的一瞬间，通 过探针的电流急剧变大，产生大量焦耳热，导致探针因温度过高而烧针。如图1中所示，介质3未被击穿时，其结构类似于电容，其电阻无穷大。此时源能 量单元I通过探针2的电流很小，小于微安级别(10~-6安培)。如图2中所示，在击穿瞬间， 击穿后的介质4的电阻变小，在10欧姆左右。假设源能量单元I施加的电压为10V，则击穿 的瞬间通过探针2的电流为IA。击穿瞬间的电流相对于击穿前的电流变化了 100万倍。而焦耳热等于电压、电流、 时间的乘积，产生的焦耳热相对于击穿前增加了 100万倍，从而导致探针2因瞬间产生的过 高温度而烧针现象，导致探针2的损坏。因此，本领域的技术人员致力于开发一种能防止半自动探针台探针烧针的装置。
技术实现思路
鉴于上述的现有技术中的问题，本专利技术所要解决的技术问题是现有的技术中探针 的烧针现象。本专利技术提供的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针， 所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻 元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。在本专利技术的一个较佳实施方式中，还包括测试机座，所述测试机座的两端分别与 所述源测量单元和探针相连，所述电阻元件设于所述测试机座中，所述电阻元件的两端分 别与所述测试机座的两端相连。在本专利技术的另一较佳实施方式中，还包括与所述探针相连的介质，所述探针用于 测试所述介质的...
【技术保护点】
一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，其特征在于，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。
【技术特征摘要】
1.一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，其特征在于，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。2.如权利要求1所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，还包括测试机座，所述测试机座的两端分别与所述源测量单元和探针相连，所述电阻元件设于所述测试机座中，所述电阻元件的两端分别与所述测试机座的两端相连。3.如权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李瀚超，尹彬锋，赵敏，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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