【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,属于LED芯片点测设备
,在机架上设置上固定支架和下固定支架,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,承片台的下端中心通过Z轴与Z轴马达的输出端连接,Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。本专利技术能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升1~15μm的距离,解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。【专利说明】一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器
本专利技术属于LED芯片点测设备
,具体涉及LED点测机寻边器(edgesensor)对Z轴运动的控制技术。
技术介绍
随着半导体LED技术的进步,对LED产能的提升,为提高利润率,业界对LED芯片的点测速度、点测后针痕质量有更高的要求;目前LED业界所用点测机对Z轴的控制模式主要依据感应式edge sensor的感应信号实现对Z轴的运动控制(被动式的edge sensor控制)。这类 ...
【技术保护点】
一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,其特征在于:在机架上设置上固定支架和下固定支架,所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,所述承片台的下端中心连接Z轴,Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端,在机架上还连接Z轴PC控制中心,所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:肖和平,陈亮,马祥柱,陈宝,杨凯,
申请(专利权)人:扬州乾照光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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