一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器制造技术

一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器，属于LED芯片点测设备技术领域，在机架上设置上固定支架和下固定支架，在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针，在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器；在探针下方布置承片台，承片台的下端中心通过Z轴与Z轴马达的输出端连接，Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端，Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。本发明专利技术能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升1～15μm的距离，解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器，属于LED芯片点测设备
，在机架上设置上固定支架和下固定支架，在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针，在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器；在探针下方布置承片台，承片台的下端中心通过Z轴与Z轴马达的输出端连接，Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端，Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。本专利技术能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升1～15μm的距离，解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。【专利说明】一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器
本专利技术属于LED芯片点测设备
，具体涉及LED点测机寻边器(edgesensor)对Z轴运动的控制技术。
技术介绍
随着半导体LED技术的进步，对LED产能的提升，为提高利润率，业界对LED芯片的点测速度、点测后针痕质量有更高的要求；目前LED业界所用点测机对Z轴的控制模式主要依据感应式edge sensor的感应信号实现对Z轴的运动控制(被动式的edge sensor控制)。这类控制Z轴上升的模式有以下特点:其运动过程承载LED芯片的承片台(CHUCK盘)上的芯片与探针接触后，Z轴继续上升，随着Z轴上升高度增加，达到寻边器压力触点后形成开路，压力感应触点灯亮并同时向Z轴马达发送减速停止信号，Z轴马达收到信号后减速，再上升一段距离后Z轴马达停止运动，Z轴停止。在Z轴运动过程中，当压力感应触点灯亮时Z轴才进行减速运动，从减速到停止Z轴会上升I?15μπι的高度，则探针扎入芯片电极深度增加I?15μπιο这种运动模式存在以下缺点: 1.点测针痕质量差(深度、大小、形状不稳定)； 2.探针使用寿命短(合金针300?400万次，铍铜针100?200万次)； 3.测试结果的准确度低。
技术实现思路
针对现有点测机对Z轴控制的模式存在的问题，本专利技术目的是提出一种可提高点测品质的自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器。本专利技术在机架上设置上固定支架和下固定支架，所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接，在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针，在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台，所述承片台的下端中心连接Z轴，Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端，在机架上还连接Z轴PC控制中心，所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端，Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。工作时，在承片台上放置有芯片。本专利技术通过高灵敏压力感应器与Z轴PC程序控制对Z轴马达精确运动能精确控制，可以设定探针与芯片接触后上升的距离；当承片台上的芯片与探针接触后，压力感应器就感应到一定压力，将压力转化为放大的电讯号，Z轴PC程序将电讯号转化为Z轴上升的距离。通过设定探针与芯片接触后上升的距离，Z轴PC程序即可依据实时的放大电讯号计算并控制Z轴马达运动的距离，并确定在一定高度下减速直到运动到设定高度后停止。此方法能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升I?15μπι的距离，解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。本专利技术的特点是； 1、高灵敏压力传感器，对I?20g的接触压力感应灵敏。 2、Z轴PC程序能模拟出微米级运动距离、压力变化曲线和压力变化曲线对应的放大电讯号，并将此曲线输入Z轴PC控制程序中；当Z轴上升，承片台上芯片与探针接触后，压力感应器感应到压力变化时，依据模拟曲线中压力变化放大电讯号与距离的对应关系，并能精确控制Z轴的运动。3、设定承片台上芯片与探针接触后，承片台上升的距离。本专利技术可采用高灵敏压力传感器为陶瓷压力传感器，压力直接作用在压力传感器的陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥(闭桥)，由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 /3.3 mV/V等。通过激光标定，传感器具有很高压力测量精确度。Z轴PC控制中心内的微米级接触距离与接触压力变化曲线，是通过经多次，大量实验数据并结合实际情况模拟计算得到的，微米级接触距离与接触压力变化曲线精确地模拟计算出微米级接触距离与接触压力的函数关系，并写入Z轴PC控制程序中。对Z轴马达控制时，依据Z轴当前的压力计算出Z轴当前位置，再依据接触距离与压力的曲线和所设定的Z轴运动高度，两位置之间的距离为Z轴马达减速停止的距离。【附图说明】图1为本专利技术的一种结构示意图。【具体实施方式】如图1所示，在机架200上设置有上固定支架201和下固定支架202，其中上固定支架201和下固定支架202的后端相互固定连接，且分别与机架200固定。在上固定支架201的前端通过探针夹座204连接探针205，在上固定支架201下方的下固定支架202前端上设置压力感应器203。在探针205下方布置有承片台102。承片台102的下端中心连接Z轴101，Z轴101连接在固定于机架200上的Z轴马达100的输出端。在机架200上还连接Z轴PC控制中心206，Z轴PC控制中心206的一个输出端连接在Z轴马达100的工作控制端，Z轴PC控制中心206的一个输入端连接压力感应器203的信号输出端。图1中的103为布置在承片台102上方的芯片。Z轴马达100上升，带动Z轴101上端的CHUCK盘102上的芯片103上升，芯片103接触到探针205后，在接触压力很小的范围内，压力感应器203能灵敏地感应到接触压力变化，此时PC控制中心206依据接触距离与压力变化曲线计算出此位置到压力感应触点位置间的距离，并控制Z轴马达100开始减速，在到达压力感应触点距离时，Z轴马达100停止。【主权项】1.一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器，其特征在于:在机架上设置上固定支架和下固定支架，所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接，在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针，在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台，所述承片台的下端中心连接Z轴，Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端，在机架上还连接Z轴PC控制中心，所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端，Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。【文档编号】G01R31/26GK105842603SQ201610220154【公开日】2016年8月10日【申请日】2016年4月11日【专利技术人】肖和平, 陈亮, 马祥柱, 陈宝, 杨凯 【申请人】扬州乾照光电有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器，其特征在于：在机架上设置上固定支架和下固定支架，所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接，在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针，在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器；在探针下方布置承片台，所述承片台的下端中心连接Z轴，Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端，在机架上还连接Z轴PC控制中心，所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端，Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖和平，陈亮，马祥柱，陈宝，杨凯，
申请(专利权)人：扬州乾照光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32