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本发明提供的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。本发明的防止半自动探针台探针烧针的装置...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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