探针卡自动维修设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种探针卡自动维修设备，包括真空吸嘴、顶针及探针，所述顶针、探针都位于真空吸嘴内部，顶针可沿所述真空吸嘴侧壁移动，从而调节探针位置；所述真空吸嘴为喇叭型；所述顶针针身表面为波浪状；还包括一机械手臂，所述真空吸嘴连接于机械手臂上，所述机械手臂可控制所述真空吸嘴的动作及顶针的移动。与现有技术相比，本实用新型专利技术的探针卡自动维修设备，可加快维修效率，提升维修精度，避免人为维修差异性，有效解决人工疲劳操作问题，缩短工程师学习周期。且缩短维修时间，大幅提升产能需求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片封装测试领域，尤其涉及悬臂式探针测试领域。
技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，以细微探针接触待测芯片的信号接点，对待测芯片接入信号，并接收待测芯片的回馈信号，以判断待测芯片是否能够正常运作。探针卡主要结构包含电路板、连接元件、及包含探针头,探针头具有探针,且探针是设置于一基座上。当前的半导体封装测试大部分以悬臂式探针卡进行电性测试，随着对产能不断提升的需求，提高测试稳定性，缩短测试时间是势在必行的研究课题，然而在芯片测试时间不变的条件下如何提高测试稳定性是目前的难点。再者，芯片的引脚数量在不断增加，引脚的尺寸不断缩小，而探针也在相应的变密、变细；在测试过程中，探针卡对位精度不佳的重要原因之一就是探针卡针位与水平不良，会直接影响测试的稳定性。目前使用探针卡的维修技术都是采用人工方式进行，先使用高倍显微镜进行探针卡水平量测，再将探针卡移至对位调针机台进行针点针位调整，调整方式用镍子挟持针身，依照原始针位方向进行微调，不断地反复相同动作检查调整确认整片探针卡回到出厂规格。这种维修方式存在诸多缺点，如:需要反复调整确认耗时费工；且完全凭借个人感觉及手法，不同本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡自动维修设备，其特征在于，包括真空吸嘴、顶针及探针，所述顶针、探针都位于真空吸嘴内部，顶针可沿所述真空吸嘴侧壁移动，从而调节探针位置。

【技术特征摘要】
1.一种探针卡自动维修设备，其特征在于，包括真空吸嘴、顶针及探针，所述顶针、探针都位于真空吸嘴内部，顶针可沿所述真空吸嘴侧壁移动，从而调节探针位置。2.如权利要求1所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述真空吸嘴为喇叭型。3.如权利要求2所述探针卡自动维修设备，其特征在于，所述顶针针身表面为波浪状。4.如权利要求3所述探针卡自动维修设备，其特征在于，还包括一机械手臂，所述真空吸嘴连接于机械手臂上，所述机械手臂可控制所述真空吸嘴的动作及顶针的移动。5.如权利要求4所述探针卡自动维修设备，其特征在于，还包括一真空吸管，所述真空吸管和所述真空吸嘴相连。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄朝龙，
申请(专利权)人：颀中科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：