一种探针测试设备制造技术

本发明专利技术提供一种探针测试设备，涉及显示测试领域，能够解决由于探针和待测物接触的压力大小无法精确控制，导致的测试精度低的问题。该探针测试设备，包括基台、第一导向部件、底座、设置于基台和底座之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器；第一导向部件位于所述基台上，且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动；探针连杆安装于底座上；在底座沿第一方向靠近基台运动时，弹性部件被压缩；第一方向与基台的承载面垂直。用于TFT性能的测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示测试领域，尤其涉及一种探针测试设备。
技术介绍
目前，TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管-液晶显示器)作为一种平板显示装置，因其具有体积小、功耗低、无辐射以及制作成本相对较低等特点，而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。TFT-LCD由阵列基板和彩膜基板构成，其中阵列基板性能的优劣，对显示器最终的显示效果有着重要的影响，薄膜晶体管阵列基板的检测显得尤为重要。目前，对阵列基板的TFT半导体特性的测试，一般采用将探针直接放置到对应信号探测导接点上的方法，所述探针在施加驱动电压的同时探测相应电流的通过情况，最终得到电压电流关系，进而得出所需的半导体特性。然而，在现有的测试过程中，探针和待测物接触的压力大小常常无法精确控制，从而导致接触电阻的大小无从得知，而对于接触性的电学测试而言，接触电阻会因为接触压力的不同而有非常大的差异。因此，半导体特性测试结果一般都会有波动；而且不同的测试设备之间数据也有差异，因而导致了测试的精确度被大大降低。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种探针测试设备，能够解决由于探针和待测物接触的压力大小无法精确控制，导致的测试精度低的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案:本专利技术实施例的一方面，提供一种探针测试设备，包括探针以及与所述探针相连接的探针连杆，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于所述基台和所述底座之间的弹性部件，以及与所述弹性部件相连接的压力传感器；所述第一导向部件位于所述基台上，且与所述底座相连接，在所述第一导向部件的导向作用下，所述底座沿所述第一方向运动；所述探针连杆安装于所述底座上；在所述底座沿所述第一方向靠近所述基台运动时，所述弹性部件被压缩；所述第一方向与所述基台的承载面垂直。优选的，还包括设置于所述第一导向部件与所述基台之间的第二导向部件以及第三导向部件；所述第二导向部件与所述第一导向部件相连接，在所述第二导向部件的作用下，所述第一导向部件和所述底座沿第二方向运动；所述第三导向部件与所述第二导向部件相连接，在所述第三导向部件的作用下，所述第二导向部件、所述第一导向部件以及所述底座沿第三方向运动；所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向相互垂直。优选的，所述第一导向部件包括第一支撑块，在所述第一支撑块上设置有第一导向槽，在所述第一导向槽内，沿所述第一方向设置有与所述第一支撑块相连接的第一滚珠丝杠，以及与所述第一滚珠丝杠相连接的第一旋钮；还包括与所述底座相连接的第一滚珠螺母，所述第一滚珠螺母与所述第一滚珠丝杠相配合。优选的，所述第二导向部件包括第二支撑块，在所述第二支撑块上设置有第二导向槽，在所述第二导向槽内，沿所述第二方向设置有与所述第二支撑块相连接的第二滚珠丝杠，以及与所述第二滚珠丝杠相连接的第二旋钮；还包括与所述第一导向部件相连接的第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母与所述第二滚珠丝杠相配合。优选的，所述第三导向部件包括第三支撑块，在所述第三支撑块上设置有第三导向槽，在所述第三导向槽内，沿所述第三方向设置有与所述第三支撑块相连接的第三滚珠丝杠，以及与所述第三滚珠丝杠相连接的第三旋钮；还包括设置于与所述第二导向部件相连接的第三滚珠螺母，所述第三滚珠螺母与所述第三滚珠丝杠相配合。优选的，所述第一导向部件包括第一支撑块，以及沿所述第一方向设置于所述第一支撑块上的第一导轨，所述底座上设置有导向柱，所述底座的导向柱设置于所述第一导轨内。优选的，所述第二导向部件包括第二支撑块，以及沿所述第二方向设置于所述第二支撑块上的第二导轨，所述第一导向部件上设置有导向柱，所述第一导向部件的导向柱设置于所述第二导轨内。优选的，所述第三导向部件包括第三支撑块，以及沿所述第三方向设置于所述第三支撑块上的第三导轨，所述第二导向部件上设置有导向柱，所述第二导向部件的导向柱设置于所述第三导轨内。优选的，所述第一导轨与所述底座的导向柱之间设置有定位机构。进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第一导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述底座的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。优选的，所述第二导轨与所述第一导向部件的导向柱之间设置有定位机构。进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第二导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第一导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。优选的，所述第三导轨与所述第二导向部件的导向柱之间设置有定位机构。进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第三导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第二导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。优选的，所述探针的一端设置有第一接头，所述探针连杆的一端设置有与所述第一接头相卡合的第二接头。优选的，所述探针连杆安装于所述底座的承载面上，所述承载面与所述待测试表面之间具有预设夹角0，且0° < α <90°。本专利技术实施例提供一种探针测试设备，该探针测试设备包括探针以及与探针相连接的探针连杆，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于底座和基台之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器。该第一导向部件位于基台上且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动。探针连杆安装于底座上。在底座沿第一方向靠近所述基台运动时，弹性部件被压缩，上述第一方向与基台的承载面垂直。这样一来，通过第一导向部件可以使得底座沿第一方向运动，在此情况下，固定于底座上的探针可以靠近或远离待测试表面。此外，由于弹性部件设置于底座靠近待测试表面的一侧，因此当底座沿第一方向Z上、下运动的过程中，可以使得弹性部件发生拉升或压缩形变。当第一导向部件沿第一方向运动，使得探针沿垂直于待测试表面的方向靠近待测试表面，并与该待测试表面接触时，上述弹性部件发生的压缩变形量会反馈至与该弹性部件相连接的压力传感器上，通过压力传感器将上述形变转换为电信号，从而可以得到探针与待测试表面之间的接触压力，进而能够对上述接触压力进行精确控制，以提高测试精度。【附图说明】为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种探针测试设备的结构示意图；图2为图1提供的探针测试设备中的各个部件通过丝杠螺母副连接的结构示意图；图3为图2中沿0-0’进行剖切得到的剖视图；图4为图3中丝杠螺母副的具体结构示意图；图5为图1提供的探针测试设备中的各个部件通过导轨连接的结构示意图；图6为图5中第一支撑块的导轨上设置有一种限位部件时，与底座的连接结构示意图；图7为图5中第一支撑块的导轨上设置有另一种限位部件时，与底座的连接结构示意图。【附图说明】:01-基台；10_探针当前第1页1 2 3 4 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针测试设备，包括探针以及与所述探针相连接的探针连杆，其特征在于，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于所述基台和所述底座之间的弹性部件，以及与所述弹性部件相连接的压力传感器；所述第一导向部件位于所述基台上，且与所述底座相连接，在所述第一导向部件的导向作用下，所述底座沿所述第一方向运动；所述探针连杆安装于所述底座上；在所述底座沿所述第一方向靠近所述基台运动时，所述弹性部件被压缩；所述第一方向与所述基台的承载面垂直。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛静，于洪俊，朱红，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11