【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种探针台旋转升降机构，其特征在于，包括升降控制装置、旋转控制装置和承片装置；所述升降控制装置包括升降电机、联轴器、升降丝杠、升降螺母、滚珠花键座、滚珠花键升降杆，所述升降电机的转轴和所述升降丝杠的一端通过所述联轴器固定连接，所述升降螺母上设有内螺纹滚道，所述升降丝杠上设有与所述内螺纹滚道匹配的外螺纹滚道，所述升降螺母套设在所述升降丝杠上，所述滚珠花键升降杆和所述升降螺母固定连接，所述滚珠花键升降杆远离所述升降电机的一端与所述承片装置固定连接，所述滚珠花键升降杆安装在所述滚珠花键座的内部；所述承片装置固定在所述旋转控制装置上，所述承片装置和所述旋转控制装置作为一个整体固定在所述升降控制装置上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：梁锦昌，罗俊勇，江耀燕，张伟，门洪达，
申请(专利权)人：深圳市天微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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