糊剂涂敷装置以及糊剂涂敷方法制造方法及图纸

本发明专利技术以提供一种能够将玻璃糊剂的涂敷高度恰当地维持在规定的误差范围的糊剂涂敷装置以及糊剂涂敷方法为课题。本发明专利技术的糊剂涂敷装置以及糊剂涂敷方法的特征在于，在形成从喷嘴（55a）的始点（Ps）开始的始端部（101S）的部分，使喷嘴高度（Nh）比基准涂敷高度（StdH）低，喷嘴（55a）移动，在形成到喷嘴（55a）的终点（Pe）为止的终端部（101E）的部分，使喷嘴高度（Nh）比基准涂敷高度（StdH）高，喷嘴（55a）移动，在形成始端部（101S）的部分以及形成终端部（101E）的部分以外的部分，将喷嘴高度（Nh）作为基准涂敷高度（StdH），喷嘴（55a）移动，再有，在始端部（101S）和终端部（101E）的至少一部分，喷嘴（55a）以玻璃糊剂（Gp）被重叠地涂敷的方式移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及向基板涂敷糊剂的。
技术介绍
在有机EL (Electro Luminescence)面板的制造工序中，在向蒸镀了有机EL元件 的基板粘合封闭用的玻璃(封闭玻璃)的工序中，向基板涂敷糊剂(玻璃糊剂)，将封闭玻璃 粘合，将激光束向玻璃糊剂照射，进行接合。在该工序中，由于向基板涂敷的玻璃糊剂的高度(涂敷高度)要求高精度的均匀 性，所以，大多通过印刷法向基板涂敷玻璃糊剂。印刷法是使玻璃糊剂在形成有涂敷玻璃糊剂的图案(涂敷图案)的筛网通过，向基 板涂敷的结构，存在有必要每个涂敷图案的形状都需要筛网这样的问题。另外，由于筛网是极薄的部件，所以，能够制造的大小存在界限。因此，存在由使用 了筛网的印刷法制造的有机EL面板的大小受到限制这样的问题。再有，筛网是将涂敷图案的部分的玻璃糊剂向基板涂敷的结构，形成涂敷图案的 部分以外的部分为被掩膜的部分。而且，由于掩膜部分的玻璃糊剂残留，所以，该残留的玻 璃糊剂成为剩余部分(浪费)，存在玻璃糊剂的使用效率降低这样的问题。作为消除这样的印刷法的问题点而涂敷玻璃糊剂的方法，已知从沿涂敷图案移动 的喷嘴将玻璃糊剂向基板涂敷的方法。例如，专利文献I中记载了一面根据涂敷了上述糊剂时的喷嘴高度，调节第二次 以后涂敷糊剂时的喷嘴高度，一面使喷嘴移动，涂敷糊剂的糊剂涂敷装置。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2002-316082号公报在使喷嘴移动来涂敷糊剂的情况下，优选为了向蒸镀在基板上的有机EL元件的 周围连续无裂缝地涂敷糊剂，而在喷嘴开始移动的始点和喷嘴结束移动的终点之间，玻璃 糊剂被重叠地涂敷(重叠)的结构。通过该结构，能够在始点和终点之间，糊剂的涂敷不中断 地无裂缝地连续涂敷糊剂。但是，在重叠的部分，若喷嘴与在先涂敷的玻璃糊剂接触，则玻 璃糊剂被削除，再有，被削除的玻璃糊剂与在先涂敷的玻璃糊剂重叠，涂敷高度变高。因此， 存在不能使玻璃糊剂的涂敷高度均匀这样的问题。专利文献I记载的糊剂涂敷装置没有研究在糊剂在喷嘴开始移动的始点和喷嘴 结束移动的终点之间被重叠地涂敷时，避免喷嘴将糊剂削除的情况。因此，本专利技术以提供一种能够将玻璃糊剂的涂敷高度恰当地维持在规定的误差范 围的为课题。
技术实现思路
为了解决上述课题，本专利技术做成使连续涂敷糊剂的喷嘴移动，将上述糊剂向基板的平面上的规定的区域的周围连续地涂敷的糊剂涂敷装置。而且，该糊剂涂敷装置的特征 在于，在从上述喷嘴开始移动的始点开始的遍及规定长度的始端部，使从上述基板到上述 喷嘴为止的喷嘴高度比规定的基准高度低，使上述喷嘴移动，在到上述喷嘴结束移动的终 点为止的遍及规定长度的终端部，使上述喷嘴高度比上述基准高度高，使上述喷嘴移动，在 上述始端部以及上述终端部以外的部分，将上述喷嘴高度作为上述基准高度，使上述喷嘴 移动，再有，以在上述始端部和上述终端部的至少一部分重叠地涂敷上述糊剂的方式，使上 述喷嘴移动。另外，成为像这样涂敷糊剂的糊剂涂敷方法。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种能够将玻璃糊剂的涂敷高度恰当地维持在规定的误差 范围的。附图说明图1是糊剂涂敷装置的立体图。图2的(a)是涂敷头的侧视图，(b)是涂敷头的立体图。图3的(a)是表示向蒸镀部的周围涂敷玻璃糊剂的涂敷图案的第一图案的图，(b) 是向蒸镀部的周围涂敷玻璃糊剂的涂敷图案的第二图案的图。图4的(a)是表示第一图案的始端部的图，(b)是表示第一图案的终端部的图。图5的(a)是表示第二图案的始端部的图，(b)是表示第二图案的终端部的图。具体实施方式下面，适当地参见图，对本专利技术的实施方式详细进行说明。有关本实施方式的糊剂涂敷装置100如图1所示，包括架台1、机架2、固定部3A、 3B、可动部4A、4B、涂敷头5、载置基板8的基板保持盘6、控制部9、监视器11、键盘12而构 成。另外，设定以架台I的长度方向为X轴，以宽度方向为Y轴，以高度方向(上下方向) 为Z轴的坐标轴。另外，虽然在图1中图示了一个涂敷头5，但也可以是具备多个涂敷头5的糊剂涂 敷装置100。另外，在架台I上设置包括固定部3A、3B和可动部4A、4B而构成的X轴移动机构。 固定部3A、3B沿X轴方向被固定在架台I的例如Y轴方向的两端部，作为可动部4A、4B的 导向器部件发挥功能。在固定部3A上可移动地具备可动部4A，在固定部3B上可移动地具 备可动部4B，再有，跨可动部4A和可动部4B (即、沿Y轴方向)设置机架2。根据该结构， 以在Y轴方向延伸的方式具备机架2。X轴移动机构被构成为可通过滚珠丝杠机构、线性马达等驱动装置，使可动部4A、 4B沿固定部3A、3B移动。机架2具备可在长度方向(即、Y轴方向)移动的涂敷头5。以后，将用于使涂敷头 5在机架2的长度方向移动的移动机构称为Y轴移动机构。Y轴移动机构被构成为可通过 滚珠丝杠机构、线性马达等驱动装置，使涂敷头5沿机架2移动。另外，在架台I的上面在固定部3A、3B之间的区域，作为载置在蒸镀部Al蒸镀有有机EL元件的基板8的工作台具备基板保持盘6。基板保持盘6被构成为能够由未图示出 的吸附机构等将被载置的基板8固定。再有，在架台I上，作为操作构件设置监视器11、键盘12，作为对糊剂涂敷机100 进行控制的控制构件，内置着控制部9。另外，糊剂涂敷装置100具备通过将空气加压并向涂敷头5具备的糊剂收纳部(注 射器55)供给,而将用于将玻璃糊剂Gp从喷嘴55a排出的压力(排出压)向注射器55供给 的加压源10。加压源10经加压配管IOc与涂敷头5具备的注射器55连接，供给加压了的空气， 将注射器55内加压，将排出压向涂敷头5供给。加压配管IOc具备将由加压源10加压的 空气调压为所希望的压力(排出压)的正压调节器IOa和用于将被加压的空气的流通隔断的 阀门10b。阀门IOb是与来自控制部9的控制信号相应地将加压配管IOc开闭的电动式的 开闭阀，被构成为在阀门IOb闭阀时，加压配管IOc中的空气的流通被隔断。如图2的(a)、(b)所示，涂敷头5具有经Y轴移动机构可驱动地安装在机架2上 的基台部50，基台部50具备机架2所具备的直线尺2a的检测器51。直线尺2a沿Y轴方 向被延伸设置在机架2的一方的侧面，对它进行检测的检测器51与直线尺2a相向地被安 装在基台部50。控制部9 (参见图1)通过根据检测器51检测直线尺2a的结果控制Y轴 移动机构，对涂敷头5 (喷嘴55a)的Y轴方向进行位置控制。另外，优选X轴移动机构也具 备未图示出的直线尺和检测器，能够进行涂敷头5 (喷嘴55a)的X轴方向的位置控制的结 构。在涂敷头5的基台部50安装具备Z轴伺服马达52a的Z轴导向器52，在该Z轴导 向器52安装通过Z轴伺服马达52a在Z轴方向(上下方向)移动的Z轴工作台53。另外，Z 轴工作台53具备用于收纳玻璃糊剂Gp的糊剂收纳部(注射器55)。再有，注射器55具备用 于将被收纳的糊剂(本实施方式中为玻璃糊剂Gp)向基板8 (参见图1)涂敷的喷嘴55a和 对从被载置在基板保持盘6上的基板8到喷嘴55a的高度(喷嘴高度Nh)进行计量的距离 计(例如，光学式距离计54)。图2的(b)所示的光学式距离计54包括发光部和受光部而构成，根据通过基板8 反射发光部向基板8 (参见本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种糊剂涂敷装置，是使连续涂敷糊剂的喷嘴移动，将上述糊剂连续地涂敷在基板的平面上的规定的区域的周围的糊剂涂敷装置，其特征在于，在从上述喷嘴开始移动的始点开始的遍及规定长度的始端部，使从上述基板到上述喷嘴为止的喷嘴高度比规定的基准高度低，使上述喷嘴移动，在到上述喷嘴结束移动的终点为止的遍及规定长度的终端部，使上述喷嘴高度比上述基准高度高，使上述喷嘴移动，在上述始端部以及上述终端部以外的部分将上述喷嘴高度作为上述基准高度，使上述喷嘴移动，再有，以在上述始端部和上述终端部的至少一部分重叠地涂敷上述糊剂的方式，使上述喷嘴移动。

【技术特征摘要】
2011.09.21 JP 2011-2062761.一种糊剂涂敷装置，是使连续涂敷糊剂的喷嘴移动，将上述糊剂连续地涂敷在基板的平面上的规定的区域的周围的糊剂涂敷装置，其特征在于， 在从上述喷嘴开始移动的始点开始的遍及规定长度的始端部，使从上述基板到上述喷嘴为止的喷嘴高度比规定的基准高度低，使上述喷嘴移动， 在到上述喷嘴结束移动的终点为止的遍及规定长度的终端部，使上述喷嘴高度比上述基准高度高，使上述喷嘴移动， 在上述始端部以及上述终端部以外的部分将上述喷嘴高度作为上述基准高度，使上述喷嘴移动， 再有，以在上述始端部和上述终端部的至少一部分重叠地涂敷上述糊剂的方式，使上述喷嘴移动。2.如权利要求1所述的糊剂涂敷装置，其特征在于，在上述始端部， 使上述喷嘴高度比上述基准高度低与在将上述基准高度作为上述喷嘴高度，使上述喷嘴移动时向上述基板涂敷的上述糊剂的涂敷高度所允许的允许误差相当的量， 在上述终端部， 使上述喷嘴高度比上述基准高度高与上述允许误差相当的量。3.如权利要求1或2所述的糊剂涂敷装置，其特征在于，以将上述区域的周围的I点作为上述始点，沿该区域的周围形成上述始端部，将上述区域的周围的I点作为上述终点，沿该区域的周围且至少一部分与上述始端部重叠地形成上述终端部的方式，使上述喷嘴移动。4.如权利要求3所述的糊剂涂敷装置，其特征在于，具备收纳上述糊剂的糊剂收纳部、 为从上述喷嘴涂敷上述糊剂而向上述糊剂收纳部供给排出压的加压源， 先于形成上述终端部，停止从上述加压源向上述糊剂收纳部供给排出压。5.如权利要求1或2所述的糊剂涂敷装置，其特征在于，以将从上述区域的周围向外方离开的I点作为上述始点，朝向上述区域的周围形成上述始端部， 将从上述区域的周围向外方离开的I点作为上述终点，从上述区域的周围朝向该终点，且与上述始端部交叉地形成上述终端部的方式，使上述喷嘴移动。6.一种糊剂涂敷...

【专利技术属性】
技术研发人员：三井信治，宫本芳次，山本英明，中村秀男，石田茂，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：