涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在向翘曲大的基板涂敷涂敷液的情况下也能够高精度地涂敷涂敷液的涂敷装置。通过基板搬运机构（14）将基板搬运至载物台（12）上，并将基板吸附保持于该载物台（12）的保持面（30）上。并且，在使狭缝喷嘴（41）的涂敷液喷出用狭缝与吸附保持于载物台（12）的保持面（30）上的基板的表面接近的状态下，使该狭缝喷嘴（41）相对于基板移动，由此在基板的表面涂敷涂敷液。在通过狭缝喷嘴（41）向基板涂敷涂敷液的期间，在通过多个吸附盘（71）对基板的背面的多个位置进行吸附保持的状态下，将按压于载物台（12）的保持面（30）上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于向有机EL显示装置用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、太阳电池用基板、PDP用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板等基板涂敷涂敷液的涂敷装置。
技术介绍
在这样的涂敷装置中，采用如下的构成，S卩，将基板载置于载物台上，并且在使狭缝喷嘴的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面接近的状态下，使该狭缝喷嘴沿着基板的表面移动，从而向基板的表面涂敷涂敷液。在这样的涂敷装置中，在将基板搬入到载物台上或者从载物台上搬出基板时，使用以能够升降的方式设置于载物台上的升降销和与该升降销之间交接基板的搬运机械手 (参照日本特开2007-287914号公报)。另外，还提出了一种涂敷装置，在该涂敷装置中，一边通过辊来搬运基板，一边从狭缝喷嘴向基板的表面涂敷涂敷液(参照日本特开2009-61380号公报)。另外，为了将基板吸附保持于载物台上，还提出了如下的基板固定方法，即，在通过吸附垫吸附了基板的状态下，使该吸附垫向载物台方向移动，在通过吸附垫将基板的整个面按压在载物台的状态下，将该基板吸附保持于载物台上，然后，解除吸附垫的按压力 (参照日本特开2004-179399号公报)。在作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，在使狭缝喷嘴上的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面相接近的状态下，使上述狭缝喷嘴相对于该基板在水平方向上移动，由此向上述基板的表面涂敷涂敷液，其特征在于，上述涂敷装置具有多个吸附构件，在上述狭缝喷嘴向上述基板涂敷涂敷液的期间，多个上述吸附构件在对上述基板的背面上的多个位置进行吸附保持的状态下，将上述基板按压于上述载物台的表面，由此将上述基板保持为相对于上述载物台平坦的状态。

【技术特征摘要】
2011.09.26 JP 2011-208737;2011.09.26 JP 2011-20871.一种涂敷装置，在使狭缝喷嘴上的涂敷液喷出用狭缝与载置在载物台上的基板的表面相接近的状态下，使上述狭缝喷嘴相对于该基板在水平方向上移动，由此向上述基板的表面涂敷涂敷液，其特征在于， 上述涂敷装置具有多个吸附构件，在上述狭缝喷嘴向上述基板涂敷涂敷液的期间，多个上述吸附构件在对上述基板的背面上的多个位置进行吸附保持的状态下，将上述基板按压于上述载物台的表面，由此将上述基板保持为相对于上述载物台平坦的状态。2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于， 上述吸附构件由吸附盘构成，该吸附盘具有由弹性材料形成的盘状的吸附部和与减压单元相连通的基部，该吸附盘位于在上述载物台上形成的孔部内，并且，该吸附盘的基部以吸附部的前端从上述载物台的表面突出的状态固定于上述载物台， 在上述吸附部的前端和上述基板的背面相抵接的状态下，对由上述吸附部和上述基板形成的空间的内部进行排气，由此利用上述吸附部发生弹性变形的作用，来将上述基板的背面按压于上述载物台的表面。3.根据权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于， 上述涂敷装置还具有外周部按压构件，该外周部按压构件用于将载置在上述载物台上的基板的外周部按压于上述载物台的表面。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：川口靖弘，上野幸一，高木善则，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：