【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在基片上涂敷糊剂的糊剂涂敷方法及糊剂涂敷装置。
技术介绍
在有机EL (Electro Luminescence,电致发光)片的制造工序中,由在蒸镀了有机 EL元件的基片上粘合密封用的玻璃(密封玻璃)的工序,在基片上涂敷糊剂(玻璃糊剂),粘 合密封玻璃,将激光束照射在玻璃糊剂上而进行接合。在此工序中,被涂敷在基片上的玻璃糊剂的高度(涂敷高度)要求高精度的均匀 性,因此,多由印刷法在基片上涂敷玻璃糊剂。印刷法为,通过形成了涂敷玻璃糊剂的图案(涂敷图案)的丝网将玻璃糊剂涂敷在 基片上,存在对于涂敷图案的各形状需要分别准备丝网的问题。另外,丝网为极薄的构件,所以,可制造的大小存在限度。因此,存在由使用了丝网 的印刷法制造的有机EL片的大小被限制的问题。并且,丝网由于为将涂敷图案的部分的玻璃糊剂涂敷在基片上的结构,形成涂敷 图案的部分以外成为被掩蔽的部分。由于掩蔽部分的玻璃糊剂残留,所以,此残留的玻璃糊 剂成为剩余部分(浪费),存在玻璃糊剂的使用效率下降的问题。作为消除这样的印刷法的问题点涂敷玻璃糊剂的方法,已知从沿涂敷图案移动的 管嘴将玻璃糊剂涂敷在基片 ...
【技术保护点】
一种糊剂涂敷方法,该糊剂涂敷方法为,使涂敷糊剂的管嘴沿基片的平面上的规定区域的周围移动,在该区域的周围涂敷所述糊剂,其特征在于:具有准备工序和涂敷工序;在该准备工序中,对所述管嘴沿所述区域的周围移动时的各移动方向,设定所述管嘴移动时的从所述基片到所述管嘴的管嘴高度的修正量;在该涂敷工序中,对所述管嘴的各所述移动方向,以与所述管嘴的所述移动方向对应的所述修正量修正所述管嘴高度,沿所述区域的周围移动所述管嘴。
【技术特征摘要】
2011.09.21 JP 2011-2062821.一种糊剂涂敷方法,该糊剂涂敷方法为,使涂敷糊剂的管嘴沿基片的平面上的规定区域的周围移动,在该区域的周围涂敷所述糊剂,其特征在于 具有准备工序和涂敷工序; 在该准备工序中,对所述管嘴沿所述区域的周围移动时的各移动方向,设定所述管嘴移动时的从所述基片到所述管嘴的管嘴高度的修正量; 在该涂敷工序中,对所述管嘴的各所述移动方向,以与所述管嘴的所述移动方向对应的所述修正量修正所述管嘴高度,沿所述区域的周围移动所...
【专利技术属性】
技术研发人员:三井信治,宫本芳次,山本英明,中村秀男,石田茂,
申请(专利权)人:株式会社日立工业设备技术,
类型:发明
国别省市:
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