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本发明提供一种在向翘曲大的基板涂敷涂敷液的情况下也能够高精度地涂敷涂敷液的涂敷装置。通过基板搬运机构（14）将基板搬运至载物台（12）上，并将基板吸附保持于该载物台（12）的保持面（30）上。并且，在使狭缝喷嘴（41）的涂敷液喷出用狭缝与吸...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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