一种半导体特性参数综合测试设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种半导体特性参数综合测试设备，涉及半导体性能测试领域，包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统均可通过通讯接口连接至控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之间可通过控制系统实现切换。本实用新型专利技术的积极效果在于虽然将独立模块有机结合到了一起，不仅能独立进行测试，还能进行耦合测试，从而大大拓展了测试的模式和能力。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体性能测试领域，尤其涉及一种半导体光、电、磁及其相互耦合性质的综合表征方法。
技术介绍
当前在半导体领域，光电技术发展迅速，比如LED产业，蕴含着一场新的技术革命，可能会建立起一个全新的产业体系；在通信领域，3G信息时代的到来，计算机、互联网络的快速发展，均离不开半导体产业的迅速发展。而半导体产业的发展离不开先进的测试技术。光、电、力、磁是材料表征的4个基本方面，尤其是光、电、磁的性质，更是半导体材料和器件非常重要的参数。而目前的商业设备一般都是侧重于单一方面的测试，而常常忽略各参数间耦合性质的测试，而本申请所侧重的就是将光、电、磁各参数测试综合起来，设计一套设备，该设备不仅能测试光、电、磁单方面的性质，还可以进行不同参数的耦合性质。目前还未见到有这类的设备。目前，光、电、磁单独的参数测试技术已经都很完善，因此本申请所要做的主要是通过合理的设计与评估，再配合编程，将各模块有机的结合起来。这样一个整体即由原来的只能测试三个单方面的性质，变为除包括这三方面测试外，还可以进行光电、光磁、电磁以及光电磁耦合测试的综合测试系统，硬件部分还是原来的硬件部分，但是所能发挥的功能却远本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体特性参数综合测试设备，其特征在于，包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统通过通讯接口连接至控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之间通过控制系统实现切换。

【技术特征摘要】
1.一种半导体特性参数综合测试设备，其特征在于，包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统通过通讯接口连接至控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之间通过控制系统实现切换。2.根据权利要求I所述的半导体特性参数综合测试设备，其特征在于，所述光源为激光光源或宽光谱光源。3.根据权利要求I所述的半导体特性参数综合测试设备，其特征在于，所述光学探测系统具有分光系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：田飞飞，李彬，张敏，张志强，郑树楠，周桃飞，徐科，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：实用新型
国别省市：