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本实用新型提供一种半导体特性参数综合测试设备，涉及半导体性能测试领域，包括光源、光学探测系统、电学系统、磁学系统以及控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统均可通过通讯接口连接至控制系统，所述光学探测系统、电学系统、磁学系统任意两者之...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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