一种半导体器件检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体器件检测装置。它包括测试夹具、探针台、半导体参数测试仪、计算机和打印机，探针台与半导体参数测试仪通过电缆线连接，测试夹具设置在探针台内的真空室内，测试夹具夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪与计算机相连，计算机和打印机相连。本实用新型专利技术结构简单，检测方便可靠，实用性强，大大提高了检测器件的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体检测
，具体涉及一种半导体器件检测装置。
技术介绍
随着航空航天技术的不断发展，整机系统对配套的元器件功能、性能和可靠性有了更高的要求，而半导体器件在整机中又有着十分广泛的应用，对关键器件特性的检测对整机系统性能的提高，有着重要的意义，这就要通过提高筛选条件和增加鉴定项目来保证元器件的可靠性。目前半导体的检测仪器自动化程度不高，检测效果不佳，不能保证器件的可靠性。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种半导体器件检测装置，结构简单，检测方便可靠，实用性强，大大提高了检测器件的可靠性。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种半导体器件检测装置，包括测试夹具、探针台、半导体参数测试仪、计算机和打印机，探针台与半导体参数测试仪通过电缆线连接，测试夹具设置在探针台内的真空室内，测试夹具夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪与计算机相连，计算机和打印机相连。作为优选，所述的探针台的探针探头与被测半导体器件的电极相连。作为优选，所述的半导体参数测试仪上设置有显示屏，用于显示测试的数据。本技术具有以下有益效果：结构简单，检测方便可靠，实用性强，大
大提高了检测器件的可靠性。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1所示，本技术实施例提供了一种半导体器件检测装置，包括测试夹具1、探针台2、半导体参数测试仪3、计算机4和打印机5，探针台2与半导体参数测试仪3通过电缆线连接，测试夹具1设置在探针台2内的真空室内，测试夹具1夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪3与计算机4相连，计算机4和打印机5相连。值得注意的是，所述的探针台2的探针探头与被测半导体器件的电极相连。此外，所述的半导体参数测试仪3上设置有显示屏，用于显示测试的数据。本具体实施方式测试夹具是用来放置器件的，不同类型的器件应选择不同的测试夹具进行测试。通过相应的夹具把待测器件(DUT)与测试设备连接好，由半导体器件特性测试仪HP4156测量器件的参数，通过仪器面板实时显示测量特性曲线以及数据处理结果，并能做可靠性测试，进行失效分析。为避免外界应力的干扰，把DUT放置在圆晶探针台的真空室内，通过探针探头与DUT电极接触。通过电缆线把探头与测试设备相连，同时GPIB数据卡把主控机和测试设备相连，这样就实现了对仪器的通讯，最后将测试数据传入控制计算机中，并可以通过端口连接的打印机把数据打印出来。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体器件检测装置，其特征在于，包括测试夹具(1)、探针台(2)、半导体参数测试仪(3)、计算机(4)和打印机(5)，探针台(2)与半导体参数测试仪(3)通过电缆线连接，测试夹具(1)设置在探针台(2)内的真空室内，测试夹具(1)夹有被测半导体器件，半导体参数测试仪(3)与计算机(4)相连，计算机(4)和打印机(5)相连。

【技术特征摘要】
2015.11.19 CN 201520939695X1.一种半导体器件检测装置，其特征在于，包括测试夹具(1)、探针台(2)、半导体参数测试仪(3)、计算机(4)和打印机(5)，探针台(2)与半导体参数测试仪(3)通过电缆线连接，测试夹具(1)设置在探针台(2)内的真空室内...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明，赵正印，韩红培，
申请(专利权)人：许昌学院，
类型：新型
国别省市：河南;41