【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种制备前趋物金属薄膜的方法，尤其是。
技术介绍
多元化合物太阳能电池为目前最受属目的材料之一，是指以I族-III族-IV族所构成的太阳能电池吸收层并且可以成份调控进行能系改变而达到最佳光电转换效率，其中，I族为铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)，III族为铝(Al)、镓(Ga)、铟(In)，IV族为硫(S)、硒(Se)、锑(Te)，目前以铜铟镓硒太阳能电池光电转换效率最高。典型CIGS太阳能电池依基材由下往上为Mo (钥背电极层)/CIGS (铜铟镓硒吸收 层)/CdS (硫化镉缓冲层)/ZnO+AZO (氧化锌与参杂铝氧化锌光窗层)/Al (铝上电极层)，一般背电极层、光窗层采真空溅镀方式，缓冲层采化学水域方式，相较于组件结构各膜层中，吸收层制备方式共分两大类1.真空制程，包含共蒸镀及溅镀前趋物与硒化制程；2.非真空制程，包含电镀及涂布等；其中使用化学浴方式制备缓冲层主要原因为目前阶段所制作吸收层表面非常粗大，需藉由水浴法来达到缓冲层完整批覆于吸收层上，然而，在整个生产CIGS太阳电池过程中，使用水浴法制程方式有几种限制1.对于生产连续性不加；...
【技术保护点】
一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10？2？0.9×10？2mtorr，用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10？50mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄信二，
申请(专利权)人：研创应用材料赣州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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