一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，以重量百分比计，组成元素为：33.9～70.0％的V、15.1～23.0％的C和7.0～45.0％的Co，属于陶瓷涂层领域。本发明专利技术还公布了一种纳米复合结构V-C-Co韧性涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Co靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层，利用此种方法制备的纳米复合结构的V-C-Co韧性涂层兼具有高硬度、高韧性的特点，其塑性指数为0.45以上，硬度达到15GPa以上，可以满足防护涂层及耐磨涂层高硬度和高韧性的要求，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种韧性硬质涂层及其制备工艺，尤其涉及一种纳米复合机构的V-C-Co涂层及其制备方法，属于陶瓷涂层领域。
技术介绍
硬质防护涂层主要是由金属键构成过渡金属氮化物、碳化物、硼化物及由离子键构成的金属氧化物等形成的，这些涂层的硬度很高，但他们的韧性却很低，提高这些涂层的韧性和提高它们的硬度一样重要，特别是在摩擦磨损领域的应用中。M. Misina利用非平衡磁控派射设备制备了 Ti-N-Ni涂层(“Surface and CoatingTechnology”，第110卷，168 172页，1998年)，金属Ni以独立形式偏聚在TiN的晶界上形成FCC结构的金属Ni相，这样涂层就成为由金属Ni相和TiN相组成的纳米复合涂层，但 是，此种涂层的韧性虽然得到了显著提高，但涂层最大硬度只有10. 5GPa。过渡金属Ti、V、W、Ta、Zr、Mo、Cr等都可与碳原子反应,生成金属碳化物涂层,金属碳化物涂层具有化学稳定性好、熔点高、硬度大的特点，但是，碳化物涂层韧性不好，较脆。许多研究通过复合一种与C结合力较差的金属，可以改变它的结构，从而改变涂层的性能。现在，研究较多的是仿效块体的碳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米复合结构的V？C？Co韧性涂层，其特征在于，以重量百分比计，组成元素为：V？？？？？33.9～70.0％C？？？？？15.1～23.0％Co？？？？7.0～45.0％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄峰，李艳玲，张晓娟，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：