基于大面积强流脉冲电子束复合处理制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法制造方法及图纸

基于大面积强流脉冲电子束复合处理制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法，涉及制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法。它为解决以往大面积强流脉冲电子束技术在对陶瓷涂层进行电子束辐照处理时由于电荷累积效应，导致涂层发生打弧放而破坏，不能用于陶瓷涂层处理的问题。真空泵组与真空室连接；真空室内设置有旋转样品台；与真空泵组相对的一侧上设置有金属靶；石墨靶与电子枪对应设置；四个加热器均匀分布在真空室的内层壁上。将预处理后的待处理工件放置在旋转样品台上正对石墨靶和金属靶；镀上N层膜，再用电子枪辐照；再通过加热器加热进行退货处理，退货处理后进行保温及冷却降温完成制备。它适用材料表面处理领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置及其制备方法。
技术介绍
大面积强流脉冲电子束是一种新兴的材料表面改性技术，其原理是通过电子枪产生一束能量密度极高的脉冲电子束轰击材料表面，使材料表面发生瞬间熔融和快速凝固，获得表面细晶组织或非平衡亚稳相，实现材料表面性能改变。同时也可以通过和真空镀膜技术相结合，实现材料表面合金化。由于在合金化过程中基体和合金涂层同时发生熔化，合金化层与基体之间为冶金结合，彻底解决了涂层与基体之间结合力问题。由于电子束作用时间短，能量集中于材料表层，因此在电子束合金化过程中，虽然表层处于熔融状态，但是基体材料仍处于室温。可知大面积强流脉冲电子束处理具有不改变工件尺寸精度的工艺优势，尤其适合于精密工件的表面强化处理。相对于激光表面合金化技术，大面积强流脉冲电 子束具有处理面积大，能量吸收效率高的优点，不需要对工件逐点扫描和对工件进行表面黑化，处理效率高、表面质量好。相对于合金涂层，陶瓷涂层具有高硬度、高耐磨性和化学惰性等优点。但是由于陶瓷性质与金属相差极大，陶瓷涂层与金属基体结合力差的问题一直是困扰陶瓷涂层应用的一个重要问题，如果能实现涂层与基体的冶金结本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于大面积强流脉冲电子束复合处理制备硬质碳化物陶瓷涂层的装置，其特征在于，它包括：真空泵组(1)、四个加热器(2)、石墨靶(3)、旋转样品台(4)、电子枪(5)、金属靶(6)、镀膜控制电源(7)、计算机(8)和真空室(9)；所述真空泵组(1)的进气口通过真空管与真空室(9)内室连通；真空室(9)是具有双层壁的真空密封球状结构，在真空室(9)的双层壁的外层壁镶嵌设置有一个进水口(a)和一个出水口(b)，所述进水口(a)和出水口(b)与双层壁之间的内部空间连通，在真空室(9)内部置有旋转样品台(4)；真空室(9)的内壁上设置有金属靶(6)和石墨靶(3)，金属靶(6)和石墨靶(3)位于旋转样品台(4...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐光泽，马欣新，牛仕超，彭冉，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：