【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在铝合金表面中频反应磁控溅射沉积ZrN薄膜的工艺，属于物理气相沉积磁控溅射制备薄膜的方法，属于金属表面处理
技术介绍
众所周知，铝合金具有比强度高，良好的导热和导电性、反光性强、塑性好、成型性好、无低温脆性等优点，是一种具有优良综合性能的有色金属材料，被广泛应用于现代汽车工业、航天工业、电子通讯业、计算机业等领域。但是，铝的化学性质活泼，标准电极电位低，在干燥空气中铝的表面立即形成厚约I 3nm的致密氧化膜，抗腐蚀性能差，硬度低，耐磨性差。为了克服铝合金表面性能方面的缺点，扩大应用范围，延长使用寿命，表面处理技术是非常重要的一环，用以解决或提高防护性、装饰性和功能性三大方面的问题。 目前，铝合金表面处理技术普遍采用电镀、化学镀、阳极氧化、粉末涂装和激光处理等方法。电镀镀层结晶细致，平滑光亮，内应力较小，与陶瓷金属化层结合力强，但电镀费时费力，而且电镀液中含有氰种剧毒物质，具有较强的污染，我国已经明令禁止采用电镀法。化学镀操作复杂，也具有一定的污染，而且表面镀层颜色单一。阳极氧化法镀层耐蚀性好，但力学性能差，膜层薄且与基体结合力小。粉末...
【技术保护点】
一种利用中频反应磁控溅射在铝合金表面沉积耐腐蚀、耐磨损和颜色亮丽的ZrN薄膜的方法，其特征在于按如下的步骤进行:（1）采用SP？0707AS中频反应磁控溅射镀膜机，中频功率为5KW，本底真空度为6.0×10？3Pa，靶材为270×70×5？mm的长方形对称Zr靶，工作气体Ar气和反应气体N2气的纯度均为99.99%，溅射气压为3.0×10？1Pa，偏压为150V，占空比为80%；（2）基体采用铝合金镜面板，试样制成40×60mm，15×30mm两种规格；铝合金基体使用前用超声波清洗，清洗剂中加入金属清洗剂，温度控制在50℃，清洗10？min后用去离子水清洗10？min，再用...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王会强，孙维连，邢艳秋，李新领，孙铂，安广，李颖，程越，
申请(专利权)人：河北农业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。