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本发明公开了一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，是用物理气象沉积方法制备平坦化金属薄膜，调节制程工作压力来达到不同成分或合金设计的前趋物金属的平坦化，使制得的金属薄膜的表面粗度减少了百倍左右，进而改变单层或多层前驱层薄膜的平坦化设计，在硒...
该专利属于研创应用材料（赣州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过研创应用材料（赣州）有限公司授权不得商用。

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