本发明目的是提供一种制备缓冲层氧化锌硫靶材的方法，由氧化锌为主、添加硫化镁锌及添加第三种氧化物等，控制缓冲层载子浓度，能做出更好PN特性，并首创使用注浆成型加中高温烧结的方式来制作此种多元氧化物的靶材，提高靶材均匀性及致密度，延长靶材寿...

一种高效率CIGS太阳能电池结构，太阳能电池具有七层结构，所述衬底、背电极、主吸收层、缓冲层、光窗层（二）、光窗层（一）和电极由下而上依次连接。本实用新型的技术效果是：所述透明导电层主要作用是在传统工艺基础上降低膜层阻值，减少膜层厚度提...

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡锌薄膜的方法，在制备新型氧化铟锡锌靶材的过程中，添加高含量的氧化锌元素的形成氧化铟锡锌材料，溅镀薄膜时搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，大幅降低薄膜的电阻，在适当的厚度控...

本发明公开了一种真空卷对卷镀膜用可挠性基材及薄膜的制备方法，使用整卷不锈钢为基材，第一层下电极薄膜的制备使用钼钠靶材，高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率，缓冲层方面使用溅镀的锌镁氧膜层取代传统的...

本发明是提供一种制备新型铜合金材料层及薄膜的方法，搭配做在玻璃或者PET上面的透明导电膜，形成触控面板(基材/ITO/Cu/Cu-alloy的基础薄膜结构。薄膜可以在低温(<150℃)状态下溅镀成膜，符合玻璃及各种可挠性基材得使用，纯铜...

本发明公开了一种制备卷对卷真空镀膜可挠性基板及薄膜的方法，使用整卷铝箔或铝合金箔为基材，镀膜前先针对基板表面进行阳极处理，并同时添加钠元素，高温CIGS蒸镀成膜时藉由扩散过程钠元素会进入CIGS膜层中以提高电池的效率。首创使用铝或者铝合...

本发明提供一种制备新型铜合金保护层材料及薄膜迭层的方法，首先在已有吸收层的玻璃或者PET上面先溅镀透明导电膜(氧化锌铝镓)与金属层，在溅镀铜合金保护层，形成薄膜光电池的上电极的薄膜迭层结构(基材/ZAGO/金属或者合金/Cu-alloy...

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化锌铝镓材料及薄膜的方法，使用注浆成型制备新型氧化锌铝镓靶材，不使用氧化铟材料，降低靶材的成本。搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，在适当的厚度控制下大幅降低薄膜的电阻，維持薄膜...

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡锌材料及薄膜的方法，使用注浆成型制备新型氧化铟锡锌靶材，大量添加的氧化锌及氧化锡元素的形成氧化铟锡锌材料，降低靶材的成本。搭配中间层的银及银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，满足了生产的要...

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡材料及其薄膜的方法，在制备新型氧化铟锡薄膜的过程中，首创使用高透光的含钛元素的氧化铟锡薄膜，搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计。在适当的厚度控制下大幅降低薄膜的电阻，并提高...

本发明公开了一种制备多孔性前趋层及吸收层薄膜平坦化的方法，使用工作气氛压力大于10mtorr，及镀率小于10nm/mins低功率溅镀，使得前驱物形成多孔性的薄膜，并使薄膜表面粗糙度大大降低(<100nm)，达到了最佳平坦度，避免了薄膜与...

本发明目的是提供一种制备新型前趋物合金及吸收层薄膜的方法，本设计乃以具有可调变三元以上前趋物合金成份制作吸收层前躯体，控制前躯体的成分设计，使得前驱物在硒化处理温度升温尚未达到硒的熔化温度(200℃-250℃)前不会产生相变化，确保硒化...

本发明公开了一种制备新型缓冲层氧化物靶材及其氧化物薄膜的方法，由氧化锌为主、添加氧化镁及添加第三种氧化物等，控制缓冲层载子浓度，能做出更好PN特性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作此种多元氧化物的靶材，提高靶材均匀性及致密度，延...

本发明公开了一种制备新型导电氧化铟靶材及氧化铟薄膜的方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧...

本发明公开了一种新型导电氧化物靶材及导电氧化物薄膜的制备方法，由添加第三种元素在本来的二元氧化物中，以提高电载子移动性来提高透光性及导电性，并首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关靶材，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常...

本发明公开了一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，是用物理气象沉积方法制备平坦化金属薄膜，调节制程工作压力来达到不同成分或合金设计的前趋物金属的平坦化，使制得的金属薄膜的表面粗度减少了百倍左右，进而改变单层或多层前驱层薄膜的平坦化设计，...

本发明公开了一种制备铟靶材金属薄膜的方法，添加一种或几种熔点高于铟的金属固溶或合金化于铟金属，改变了铟的物性而提高铟本身在物理气象的沉积方法，大大降低了前趋物金属薄膜的表面粗度，使其在硒化与硫化过程中可以降低吸收层的表面粗度，使制得吸收...