双功能掩模台底部装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双功能掩模台底部装置，包括：水平横梁，其承载一掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种掩模台装置，特别是涉及ー种双功能掩模台底部装置。
技术介绍
在扫描式曝光的光刻机中，原有技术以两套相互独立的掩模台支架系统，作为掩模台的底部结构，其一为掩模台横梁，承担掩模台工作时静态结构支撑，起到了从基础框架到掩模面的高度跨越。其ニ为掩模台维护机构，起到了掩模台维修维护时，动态抬升和移入移出的功能，可參考中国专利201010575782. 3。然而，由于光刻机设备内部系统繁多，整机集成密度高，采用上述功能性分解的设计模块无疑占用了更多的内部体积。同时此种设计结构繁琐，限制了提高结构模态的可能性，不利于整机框架及掩模台机械振动控制，也不利于系统曝光精度的提高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种双功能掩模台底部装置，以解决现有的掩模台底部装置占用体积大、结构繁琐不利于掩模台机械振动控制的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种双功能掩模台底部装置，包括水平横梁，其承载ー掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有ー间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。作为优选，所述水平横梁为两根，相互平行设置；所述支撑立柱为四根，每两根支撑立柱对应ー根水平横梁安装在水平横梁的两侧。作为优选，所述水平驱动机构包括移动驱动手柄、滚珠丝杆，所述滚珠丝杆设置于所述移动驱动手柄和所述水平横梁之间，所述移动驱动手柄的转动驱动所述滚珠丝杆使得水平横梁沿滑动导轨移动。作为优选，所述升降驱动机构包括升降驱动手柄、齿轮箱和传动轴，所述传动轴设置在相邻的两根支撑立柱之间，所述齿轮箱分别安装在所述支撑立柱上并啮合连接所述传动轴，所述升降驱动手柄设置在任一齿轮箱上，所述升降驱动手柄的转动驱动所述齿轮箱带动传动轴使滑动导轨沿垂向导杆同步上升或下降。作为优选，所述传动轴为三根，分别设置在任意三根相邻的支撑立柱之间。作为优选，所述升降驱动机构还包括气动弹簧，所述气动弹簧的一端与一支撑立柱连接，另一端与所述滑动导轨连接，以推动所述滑动导轨沿着所述垂向导杆上升或下降。作为优选，所述气动弹簧为氮气弹簧。作为优选，所述紧固件为定位销和螺栓。作为优选，所述水平横梁的材料为C型钢。作为优选，所述掩模台底部装置还包括连接相邻两根支撑立柱的结构连接杆。作为优选，所述掩模台底部装置还包括横跨连接两根平行的所述水平横梁的连接加强板。由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本技术具有以下优点本技术的双功能掩模台底部装置将水平横梁和掩模台维护机构(由水平驱动机构、升降驱动机构等组成)合为一体，简化了整机结构明显缩小了掩模台框架所占有的体积，并且，通过在相邻两根支撑立柱之间增设结构连接杆构成四边形结构来提高掩模台底部装置的结构模态，降低因振动对光刻机掩模台的精度干扰，从而降低掩模台受的机 械振动影响的风险。附图说明图I为本技术的双功能掩模台底部装置的正视图；图2为本技术的双功能掩模台底部装置的侧视图；图3为本技术的双功能掩模台底部装置在抬升状态时的正视图；图4为本技术的双功能掩模台底部装置在抬升状态时的侧视图；图5为本技术的双功能掩模台底部装置在移出状态时的正视图；图6为本技术的双功能掩模台底部装置在移出状态时的侧视图；图7为本技术的双功能掩模台底部装置将掩模台抬升和移入的工作流程图。图8为本技术的双功能掩模台底部装置将掩模台移入和下降的工作流程图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。—种双功能掩模台底部装置，如错误！未找到引用源。和2所示，包括水平横梁3，其承载ー掩模台I ;支撑立柱12，位于所述水平横梁3的两侧，所述水平横梁3通过紧固件13锁紧固定在所述支撑立柱12上；垂向导杆7，沿竖直方向设置在所述支撑立柱12上；滑动导轨5，平行于水平横梁3设置且活动连接至垂向导杆7，于初始状态下位于水平横梁3下方且与水平横梁3之间具有ー间隔d ;升降驱动机构，驱动滑动导轨5沿垂向导杆7上升或下降，当滑动导轨5上升至与水平横梁3相接触时，通过松开紧固件13使滑动导轨5承载着水平横梁3继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨5承载有水平横梁3时，水平驱动机构驱动水平横梁3沿滑动导轨5移动。其中，所述水平驱动机构包括移动驱动手柄11、滚珠丝杆，所述滚珠丝杆设置于所述移动驱动手柄11和所述水平横梁3之间，所述移动驱动手柄11的转动驱动所述滚珠丝杆16使得水平横梁3沿滑动导轨5移动。所述升降驱动机构包括升降驱动手柄10、齿轮箱6和传动轴8，所述传动轴8分别设置相邻的两根支撑立柱12之间，所述齿轮箱6分别安装在所述支撑立柱上并啮合连接所述传动轴8，所述升降驱动手柄10设置在任一齿轮箱上，所述升降驱动手柄10的转动通过所述齿轮箱6和传动轴8带动滑动导轨沿垂向导杆同步上升或下降。在本实施例中，所述升降驱动机构还可包括气动弹簧9，所述气动弹簧9的一端与一支撑立柱12连接，另一端与所述滑动导轨5连接，以推动所述滑动导轨5沿着所述垂向导杆7上升或下降，所述气动弹簧起Z向辅助支撑的作用，以减轻旋转Z向升降驱动手柄10抬升掩模台I所需要的人工力。图I示出了双功能掩模台底部装置的正视图。此时掩模台I位于正常工作位置，即掩模台位于X向中心和Z向最低的位置。如图2所示，掩模台I的重量(一般为I至I. 5吨)通过掩模台接ロ 2由两根水平横梁3承受。所述水平横梁3处于X方向是ー种类似C型钢的结构件。所述水平横梁3两端由四根支撑立柱12支撑，以负载水平横梁3上的掩模台的重量。所述水平横梁3和所述支撑立柱12之间由紧固件13紧固连接，在本实施例中，所述紧固件13为定位销和固定螺栓。所述水平横梁3和所述支撑立柱12之间有垂向可分离的接触面，当水平横梁3紧固在所述支撑立柱12上时，水平横梁3和所述支撑立柱12在所述接触面处接触；当松开紧固件时，所述水平横梁3和所述支撑立柱12两者分离。所述滑动导轨5的顶部低于水平横梁3的底部且两者之间留有一定的间隔d，使得滑动导轨5不承重，从而避免滑动导轨5长时间承受掩模台的重量产生变形而导致精度丧失。此时，所 述支撑立柱12的受カ面高于滑动导轨5的受カ面掩模台I位于正常工作位置时，所述气动弹簧9没有充气，处于不工作状态，升降驱动手柄10和移动驱动手柄11处于闲置状态，此时整个掩模台I的重量完全作用在四根支撑立柱12上。所述支撑立柱12为ー种结构支撑件，其下半截厚实以保证较高的结构强度，其上半截轻盈为垂向导杆7提供罩壳和防护的作用。图3和4为本技术的双功能掩模台底部装置在抬升状态时的正视图和侧视图。此时掩模台I位于维修升起工作位置，即掩模台位于X向中心和Z向最高的位置。由于光刻机中对掩模台维修维护的需求，掩模台I将先进行升起的动作。首先，松开定位销和固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双功能掩模台底部装置，其特征在于，包括：水平横梁，其承载一掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴飞，朱诚，王保亮，王凯，袁志扬，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：