【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种水溶液显影的干膜光阻剂,尤其是干膜光阻剂中含有一种羧基的可形成薄膜的高分子粘合剂以及ー种含有羧基的聚氨酯的水溶液显影的干膜光阻剂。
技术介绍
水溶液显影的干膜光阻剂是可光聚合的组份,使用在印刷线路板的生产中,这些光阻剂通常是把阻抗物的溶液涂于ー种透明的聚酯薄膜载体上,然后把溶剂挥发后形成干膜。在通常的情况下,干膜光阻剂是和载体一起使用在铜覆盖的基物上,在一定的区域透过载体及底片曝光使干膜固化,然后用碱性水溶液洗滌从铜表面除去未曝光的干膜,暴露的铜层面再用蚀刻液蚀刻而除去,已曝光固化的干膜可用剥离液剥离,剩下的就是被固化干膜保护而未蚀刻掉的铜面而形成电子线路。在生产过程中,液性蚀刻以及电镀金通常是牵涉到碱性条件,从而会造成某些问题,譬如固化的光阻剂失去粘性,所以固化的光阻剂具有良好的抗阻该过程的性质就非常重要。未曝光的光阻剂能够快速地在铜板上被洗掉从而达到尽量快速显影也十分重要,为了容易地除去未曝光未固化的光阻剂,在光阻剂中就应该含有ー种含有羧基的能形成薄膜的闻分子粘合剂。用于光阻的可光聚合组分最好能够使曝光时间和显影时间最短,并且确保这可光聚合组分粘着到载体薄膜上而不是在覆盖薄膜上,确保已固化的物质的柔软性很重要,这样在操作过程中固化的物质不会裂碎。但是,在可光聚合组分的配分中,必须保持各种成分的精密平衡,对光阻剂的柔软性起好作用的物质,即使使用的量很少,仍可能对曝光的时间和显影时间会有负面影响或对该组分的贴着度有负面的影响。目前使用的增塑剂,如N-乙基-甲苯磺胺曾被加到可光聚组分的配方中去増加柔软性,然而,这种增塑剂可以从组分中渗漏出 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种水溶液显影的干膜光阻剂,其组份中含有高分子粘合剤、游离基光引发剂、可加聚单体、增塑剂以及热聚合抑制剂,其特征在于 所述的高分子粘合剂是ー种含有羧基的可形成薄膜的粘合剂由下述的混合物聚合得到 (a)分子式如下的单体H2C = CRCOO〔 (CnH2n)X(CpH2p)〕mR’ 其中R是氢或甲基,R’是选自下列基团异降冰片基,冰片基,冰片烯基,异降冰片烯基,降冰片稀基,双环十一烧基,ニ环十_■烧基,ニ环八烧基,2-氛水片基,2. 3 一_■氣降冰片基,X是氧或硫,η是2. 4, P是0-4, m是0-2 ; (b)至少有ー个3-15个炭原子的单体,该单体有α,β-不饱和键及包含有羧基或酸醇酐酯基团; (c)至少有ー个C1-C8烷基丙烯酸酯; (d)至少有ー个C1-C8烷基甲基丙烯酸酯; 所述的增塑剂为含有羧基聚氨酯,其分子量为1000-100000,自由羧基基团在聚合物主链上,并至少含有一个烯键不饱和的終端基团。2.按权利要求I所述ー种水溶液显影的干膜光阻剂,其特征在于在配方中,高分子粘合剂占干膜光阻剂总重量的40-70%,光游离基引发剂占O. 5-...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱红斌,陆德凯,
申请(专利权)人:中山市立顺实业有限公司,
类型:发明
国别省市:
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