用于向等离子显示板层压干膜光阻的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及等离子显示板的制作方法，目的在于：当使用干膜光阻形成间隔壁及辅助电极时，可遏制在屏板和干膜光阻之间发生颗粒等杂物流入及干膜光阻膜褶皱现象，以减少因层压工序所带来的屏板不良概率，进而使处理过程趋于稳定。该层压装置及其方法的特征是：为防止上述问题发生，当进行干膜光阻层压作业时，追加附着保护膜的滚筒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子显示板的电极或者间隔壁的制作方法，尤其是关于层压干膜光阻(DFRDry Film Resist)的装置。
技术介绍
通常的等离子显示板的电极及间隔壁的形成方法有印刷法或利用感光材料的拍照(Photo)法、溅射(Sputtering)法等。如印刷法，生产设备简单，材料利用效率高，所以可节省生产费用，但在高精细化及大型化方面受限。拍照法或溅射法虽然可以薄膜化及高精细化，但缺点是生产成本高。为解决上述问题，使用剥离(lift off)法形成电极的技术已经面世。剥离法采用的方式是将干膜光阻进行层压，并通过掩膜工序曝光及显影后，完全涂敷电极用涂料及进行干燥处理，然后剥去(strip)干膜光阻的方式。通常的干膜光阻如图1所示两面由保护膜包住。为了将干膜光阻附着在等离子显示板上，首先将干膜光阻安装在层压装置上，图2显示了安装在层压装置上的干膜光阻。此时，在干膜光阻下端，即在粘合面上所使用的保护膜脱落，从而干膜光阻被附着。保护膜一般使用PP或PET等聚合物系列的膜。氧化铟锡(ITO)溅射在洗净的玻璃基板的前面，然后用于形成所要尺寸的电极的干膜光阻进行层压。嵌入已被层压的干膜光阻，将形成所要的电极或者间隔壁。为防止杂物流入，在绝对无尘室(clean room)进行干膜光阻的附着作业，这样下端的保护膜将脱落，露出粘合面，通过滚筒进行安装干膜光阻。在这一过程中可能混入杂物，或者由于滚筒本身的温度干膜光阻出现褶皱问题。尤其是，用于分离干膜光阻膜和保护膜的保护膜滚筒和加热滚筒的距离远，杂物流入的可能性加大。由于该褶皱当曝光时将会发生电极短路等，并且这种问题会成为产品不良的原因。
技术实现思路
本专利技术就是为了防止发生干膜光阻的褶皱现象，而提供一种用于向等离子显示板层压干膜光阻的装置。本专利技术的层压装置是将干膜光阻层压在等离子显示板基板上的装置。即，该装置在用于剥落、缠绕保护膜的滚筒和用于将干膜光阻附着在基板上的加热滚筒之间而追加配置防止褶皱用的滚筒。本专利技术所提供的方法是指当等离子显示板层中的一部分氧化铟锡(ITOIndium tin Oxide)电极和间隔壁形成时，用于防止使用干膜光阻的方法造成干膜光阻褶皱的方法。本专利技术的干膜光阻层压方法的效果是可减少褶皱及杂物流入，进而能够减少不良发生，提高生产收益。附图说明图1是干膜光阻膜的结构图。图2是通常的层压装置。图3是本专利技术的层压装置。具体实施例方式图3是本专利技术的层压装置。本专利技术的层压装置将干膜光阻保护膜的处理滚筒追加设置在加热滚筒前面，用于防止干膜光阻发生褶皱及杂物流入。即，如图所示，在缠绕保护膜的滚筒下端与用于将被分离的干膜光阻附着在基板上的加热滚筒间，追加设置用来追加缠绕保护膜的滚筒。从上述装置的层压方法看，附着有保护膜的干膜光阻膜通过缠绕保护膜的滚筒来脱落保护膜，然后剩下拥有粘合面的干膜光阻膜。上述干膜光阻膜通过加热滚筒层压在基板上，这时通过追加设置在这一路径上的滚筒既可以防止褶皱，又可以切断杂物流入渠道，因此这种层压方式优于原有层压方式。即，通过上述追加滚筒可缩短干膜光阻膜和加热滚筒之间的距离，从而减少杂物的流入渠道。另外，通过追加滚筒也可防止褶皱。在基板上层压的干膜光阻可按所希望的形态嵌入，形成电极或间隔壁。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于向等离子显示板层压干膜光阻的装置，其特征在于：该装置在用于剥落、缠绕保护膜的滚筒和用于将干膜光阻附着在基板上的加热滚筒之间追加配置防止褶皱用的滚筒。

【技术特征摘要】
1.一种用于向等离子显示板层压干膜光阻的装置，其特征在于该装置在用于剥落、缠绕...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴商桓，
申请(专利权)人：乐金电子南京等离子有限公司，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]