等离子介质阻挡放电电路制造技术

本发明专利技术公开了一种等离子介质阻挡放电电路，包括介质板和高压交流电源驱动电路；所述介质板的一侧表面设有高电压电极，所述介质板的另一侧表面设有接地电极；所述高电压电极与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接，所述接地电极与高压交流电源驱动电路的接地端连接；所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。本发明专利技术等离子介质阻挡放电电路，其可以产生等离子体，可应用在离子工业清洗设备上。

Plasma dielectric barrier discharge circuit

The invention discloses a plasma dielectric barrier discharge circuit comprises a drive circuit board and medium high voltage AC power supply; the side surface of the dielectric plate is provided with a high voltage electrode, the dielectric plate surface of the other side is provided with a grounding electrode; high voltage output driving circuit of the high voltage electrode and high voltage AC power supply is connected. The grounding electrode and high voltage AC power supply circuit grounding terminal connection; the high voltage AC power drive circuit with pulse width modulation module control high voltage output. The present invention relates to a plasma dielectric barrier discharge circuit, which can produce plasma and can be applied to an ion industrial cleaning device.

【技术实现步骤摘要】
等离子介质阻挡放电电路
本专利技术涉及等离子介质阻挡放电电路。
技术介绍
在液晶面板制造和柔性PCB板制造业中需要用到离子工业清洗设备，离子工业清洗设备需要设计等离子介质阻挡放电电路，以产生等离子体。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种等离子介质阻挡放电电路，其可以产生等离子体，可应用在离子工业清洗设备上。为实现上述目的，本专利技术的技术方案是设计一种等离子介质阻挡放电电路，包括介质板和高压交流电源驱动电路；所述介质板的一侧表面设有高电压电极，所述介质板的另一侧表面设有接地电极；所述高电压电极与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接，所述接地电极与高压交流电源驱动电路的接地端连接；所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。优选的，所述介质板为云母片。优选的，所述高电压电极和接地电极为合金片。优选的，所述脉宽调制模块包括用于产生脉冲信号的555定时器。优选的，所述脉宽调制模块包括作为控制高压输出开关的BUZ11开关管。优选的，所述高电压电极、介质板和接地电极在高压交流电源驱动电路的驱动下产生等离子体，放电过程发生在封闭大气体里，放电间隙为4mm。本专利技术的优点和有益效果在于：提供一种等离子介质阻挡放电电路，其可以产生等离子体，可应用在离子工业清洗设备上。本专利技术采用云母片作为介质，放在两片合金片上，这个合金片就是电极，放电过程可发生在封闭大气体里，高压交流电频率为30kHz上下，放电间隙为4mm.等离子体就在介质表面产生了。本专利技术可用于等离子工业清洗设备，在液晶面板制造和柔性PCB板制造业中有广泛的应用。本专利技术克服了市场上很多产品高压不稳控制频率不稳的特点。本专利技术可以产生稳定的10kv高压,以及15kHz的频率调制。附图说明图1是高压交流电源驱动电路的示意图；图2是高电压电极、介质板和接地电极的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。本专利技术具体实施的技术方案是：如图1和图2所示，一种等离子介质阻挡放电电路，包括介质板1和高压交流电源驱动电路；所述介质板1的一侧表面设有高电压电极2，所述介质板1的另一侧表面设有接地电极3；所述高电压电极2与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接，所述接地电极3与高压交流电源驱动电路的接地端连接；所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。所述介质板1为云母片。所述高电压电极2和接地电极3为合金片。所述脉宽调制模块包括用于产生脉冲信号的555定时器。所述脉宽调制模块包括作为控制高压输出开关的BUZ11开关管。所述高电压电极2、介质板1和接地电极3在高压交流电源驱动电路的驱动下产生等离子体，放电过程发生在封闭大气体里，放电间隙为4mm。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
等离子介质阻挡放电电路，其特征在于：包括介质板和高压交流电源驱动电路；所述介质板的一侧表面设有高电压电极，所述介质板的另一侧表面设有接地电极；所述高电压电极与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接，所述接地电极与高压交流电源驱动电路的接地端连接；所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。

【技术特征摘要】
1.等离子介质阻挡放电电路，其特征在于：包括介质板和高压交流电源驱动电路；所述介质板的一侧表面设有高电压电极，所述介质板的另一侧表面设有接地电极；所述高电压电极与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接，所述接地电极与高压交流电源驱动电路的接地端连接；所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。2.根据权利要求1所述的等离子介质阻挡放电电路，其特征在于，所述介质板为云母片。3.根据权利要求2所述的等离子介质阻挡放电电路，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹付勇，
申请(专利权)人：苏州普拉斯玛精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32