The present invention relates to a plasma generation and low-temperature plasma technology field, specifically discloses a pair of coplanar electrode discharge plasma generating device, which comprises a medium and a plurality of pairs of electrodes for two electrode pairs; the electrode spacing is nearly the same polarity; between positive and negative electrode pairs adjacent to the opposite polarity. In the invention, a spacing electrode effect is formed by designing a pair of electrodes with a shorter spacing and a positive and negative spacing, thereby ensuring the stability of the plasma discharge and forming a plasma layer with uniform discharge on the surface of the medium.
【技术实现步骤摘要】
成对电极共面放电等离子体发生装置
本专利技术涉及等离子体产生和低温等离子体
,具体涉及一种成对电极共面放电等离子体发生装置。
技术介绍
低温等离子体在材料表面改性、薄膜沉积、光源,以及等离子体刻蚀等方面有很多应用。介质阻挡放电是一种在放电电极间加入介质层的一种放电形式。由于介质的存在,使放电更加稳定,并避免了电流过大而形成电弧的危险。介质阻挡放电是大气压放电的重要方法。介质阻挡放电按放电结构区分可以分为:体放电,沿面放电和共面放电三种。其中共面放电具有较大优势,由于共面放电中电极置于同侧并埋藏于介质之中,等离子体产生于介质表面并具有一定厚度。这种结构可以对厚度较大的器件表面进行材料表面改性、薄膜沉积,也可以用于等离子体光源等。通常设计的共面放电装置中,埋藏于介质层中的电极为“单个电极”排列,相邻电极分别接到高压电源的高压端和接地端。在整个共面介质阻挡放电装置中,接电源高电压端和接地端的电极相互间隔。由于电极加工精度的误差,在这种装置的气体放电产生等离子体过程中,放电总是首先在电场强度最大的区域首先产生并扩展,这就造成等离子体可能只产生于“单个电极”的一侧,而不是在整个任意两个“单个电极”之间区域产生。这样的共面介质阻挡放电装置产生的等离子体具有明显的不均匀性。
技术实现思路
本专利技术的目的为提供一种成对电极共面放电等离子体发生装置,能够在共面放电装置中产生均匀的等离子体。为了解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案为:一种成对电极共面放电等离子体发生装置,它包括介质和若干对成对电极;成对电极为两个间距较近、正负极性相同的电极;相邻的成对电极之间的正负 ...
【技术保护点】
一种成对电极共面放电等离子体发生装置,其特征在于:它包括介质和若干对成对电极;成对电极为两个间距较近、正负极性相同的电极;相邻的成对电极之间的正负极性相反。
【技术特征摘要】
1.一种成对电极共面放电等离子体发生装置,其特征在于:它包括介质和若干对成对电极;成对电极为两个间距较近、正负极性相同的电极;相邻的成对电极之间的正负极性相反。2.根据权利要求1所述的一种成对电极共面放电等离子体发生装置,其特征在于:它还包括两个2个单个电极;所述的介质为板状介质(1);板状介质(1)内从一边到另一边依次设有一个单个电极A(2)、若干对成对电极、一个单个电极B(3)。3.根据权利要求2所述的一种成对电极共面放电等离子体发生装置,其特征在于:当所述的成对电极的对数为偶数时,单个电极A(2)与第偶数对成对电极接高压电;单个电极B(3)与第奇数对成对电极接地;当所述的成对电极的对数为奇数时,单个电极A(2)、单...
【专利技术属性】
技术研发人员:李建,王坤,王世庆,常兰,
申请(专利权)人:核工业西南物理研究院,成都理工大学工程技术学院,
类型:发明
国别省市:四川,51
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