The present invention discloses a kind of space characteristics of plasma diagnostic device, which belongs to the field of plasma characteristic diagnosis, provides a realization of space characteristics of plasma diagnostic device for diagnosis of space characteristics of plasma, including plasma generator and plasma detection device, with shape can be sealed into a cavity in the plasma generator, the detection device comprises a detection probe and installation platform, the detection probe mounted on the probe mounting platform, wherein the detection probe detection end to form a plasma cavity. The invention can realize the detection and diagnosis of the characteristic parameters of the plasma at different positions in space. And by setting the corresponding probe installation platform corresponding to the mobile detection probe, which can realize the mobile detecting probe in the space position, so as to realize the characteristic parameters of plasma in space at different locations for diagnosis.
【技术实现步骤摘要】
等离子体空间特性诊断装置
本专利技术涉及等离子体特性诊断技术,一种等离子体空间特性诊断装置。
技术介绍
等离子体诊断技术分为主动式和被动式,主动式诊断技术即使用主动的电磁波、粒子束或探针、探头浸入到等离子体中,在等离子体环境中收集相关的特性数据,通过相应的数据处理方法获得等离子体信息;被动式诊断技术不主动浸入到等离子体中,而是在诊断过程中通过接收待分析等离子体发射的电磁波或粒子束,从而获取等离子体信息。通过对等离子体的特性诊断,可以为优化等离子体工艺参数、改进等离子体设备等提供实验数据,可使等离子体装置更高效、优异地完成工作。通过等离子体诊断不仅可以了解等离子体的宏观表象,如等离子体密度、等离子体温度、离子的能量等,还可以通过对参量的诊断了解等离子体的微观物理化学机制,如各种粒子之间的激发、裂解和电离碰撞、等离子体的扩散效应、等离子体的波动特性、分子的振动和转动温度、鞘层特性等。随着等离子体技术的不断改进和更新,越来越多的等离子体源的出现导致了相应的等离子体诊断技术的发展。等离子体具有一定的空间体积,因此在不同空间位置上等离子体参数差异甚大,而现有的大多数等离子体工艺和实验研究对等离子体空间均匀性都有极高的要求,因此无论是在等离子体工业应用还是实验室研究中,对于等离子体特征参数的空间诊断都具有重要意义,然而现目前对于等离子体的空间特性诊断还处于空白状态。因此,急需发展等离子体特性的空间诊断技术。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是提供一种可实现对等离子体空间特性进行诊断的等离子体空间特性诊断装置。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:包括等离子体发 ...
【技术保护点】
等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:包括等离子体发生器(1)和检测装置,在所述等离子体发生器(1)内具有可密封的等离子体形成腔(2),所述检测装置包括检测探针(3)和探针安装平台(4),所述检测探针(3)安装在所述探针安装平台(4)上,所述检测探针(3)的检测端(31)深入至等离子体形成腔(2)内。
【技术特征摘要】
1.等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:包括等离子体发生器(1)和检测装置,在所述等离子体发生器(1)内具有可密封的等离子体形成腔(2),所述检测装置包括检测探针(3)和探针安装平台(4),所述检测探针(3)安装在所述探针安装平台(4)上,所述检测探针(3)的检测端(31)深入至等离子体形成腔(2)内。2.如权利要求1所述的等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:还包括波纹管连接部(5),在等离子体发生器(1)上设置有贯穿的检测孔(6);所述波纹管连接部(5)的一端与所述检测孔(6)连接,所述检测探针(3)安装在波纹管连接部(5)的另一端上,并且所述检测探针(3)的检测端(31)穿过波纹管连接部(5)后深入至等离子体形成腔(2)内。3.如权利要求2所述的等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:所述探针安装平台(4)可带动所述检测探针(3)升降移动和/或转动。4.如权利要求2所述的等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:所述探针安装平台(4)可带动所述检测探针(3)沿检测探针(3)的轴向移动。5.如权利要求3所述的等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:所述探针安装平台(4)包括升降机构(41),所述升降机构包括底座(411)、安装平台(412)、支架(413)和驱动件(414);所述支架(413)固定的安装在底座(411)上,所述安装平台(412)枢接于所述支架(413)上,所述驱动件(414)可驱动所述安装平台(412)转动。6.如权利要求5所述的等离子体空间特性诊断装置,其特征在于:所述驱动件(414)包括上调节杆(4141)、下调节杆(4142)和调节螺母(4143),所述上调节杆(4141)的上端固定在安装平台(412)上,所述下调节杆(41...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈果,何小珊,王涛,何智兵,刘艳松,李俊,张玲,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,
类型:发明
国别省市:四川,51
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