一种新型光刻胶剥膜液喷嘴制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道(1)和喷嘴本体(2)，其特别之处在于：其中在喷嘴本体(2)上开有至少一个条状喷口(3)。本实用新型专利技术提供了一种应于在TFT基板制造过程中的新型的剥离液喷嘴，该喷嘴不同于现有的将很多圆型喷嘴(一般为4个圆型喷嘴以上)并排安装在一起的喷嘴结构，这种结构中药液通过很多喷嘴对基板喷淋剥膜液进行剥膜，而是采用一个完整的“一字型”的喷嘴，将剥膜液用一定压力导入喷嘴中，这些药液从喷嘴的一字型细缝中喷出，到达TFT基板表面进行剥离。这一新型喷嘴尤其适应于分辨率较高的TFT基板，经过试用证明，可以有效去除残留的PR。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种新型光刻胶剥膜液喷嘴。
技术介绍
TFT (薄膜场效应晶体管)基板在制造过程中，需要多次进行光刻胶(PR)的剥膜工序加工(剥膜的次数根据产品结构的不同为4-10次或更多)，然后再进行下一膜层结构的成膜等，在这一过程中，如果剥膜不干净，PR的残留将会导致不良产品，造成器件品位低下，更严重的会出现产品报废。而剥膜干净与否和剥膜液喷嘴的设计密切相关。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，采用该喷嘴能够更有效的去除高分辨率TFT制程中的PR残留。一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道和喷嘴本体，其特征在于:其中在喷嘴本体上开有至少一个条状喷口。其中喷口的宽度为0.l-2mm。其中喷口的长度与待剥膜基板的长度相同。本技术提供了一种应于在TFT基板制造过程中的新型的剥离液喷嘴，该喷嘴不同于现有的将很多圆型喷嘴(一般为4个圆型喷嘴以上)并排安装在一起的喷嘴结构，这种结构中药液通过很多喷嘴对基板喷淋剥膜液进行剥膜，而是采用一个完整的“一字型”的喷嘴，将剥膜液用一定压力导入喷嘴中，这些药液从喷嘴的一字型细缝中喷出，到达TFT基板表面进行剥离。这一新型喷嘴尤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型光刻胶剥膜液喷嘴，包括相互连通的剥膜液输送管道(1)和喷嘴本体(2)，其特征在于：其中在喷嘴本体(2)上开有至少一个条状喷口(3)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张明，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：