本发明专利技术涉及一种使相互紧贴的两张板状体剥离的剥离装置的工艺规程作成方法。多个剥离器一边保持第二板状体，一边按照沿着剥离方向的顺序向远离第一板状体的分离方向进行分离移动，由此从第一板状体剥离。以剥离器中的剥离方向上的最下游侧的剥离器作为主剥离主体，该工艺规程作成方法包括：第一工序(步骤S205～S207)，针对各个剥离器，确定该剥离器作为主剥离主体的期间，求出该期间的该剥离器向分离方向的移动速度；第二工序(步骤S209～S215)，针对各个剥离器，基于在该剥离器变成不是主剥离主体后的期间作为主剥离主体的其他剥离器的移动速度，来求出变成不是主剥离主体的该剥离器在该期间向分离方向的移动速度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种作成使相互紧贴的两张板状体剥离的剥离装置的处理工艺规程(recipe)的方法。
技术介绍
作为在玻璃基板或者半导体基板等板状体上形成图案或者薄膜的技术，有一种技术将其他的板状体所担载的图案或者薄膜(以下称为“图案等”)转印至基板。就该技术而言，在使两张板状体紧贴以将图案等从一者转印至另一者之后，需要在不损坏图案等的情况下将两张板状体剥离。例如，在专利文献1中记载了一种为了实现该目的而应用的技术。就该技术而言，由相互紧贴的第一板状体以及第二板状体构成的紧贴体，通过第一板状体被吸附保持于载物台上，被保持为水平姿势。而且，排列于第二板状体侧的多个剥离器依次与第二板状体抵接，一边保持第二板状体，一边向远离第一板状体的方向移动，由此第一板状体与第二板状体之间的剥离向规定的剥离方向进行。此时，抵接构件一边与第二板状体的表面抵接，一边向剥离方向移动，由此以一定的速度进行剥离。专利文献1：JP特开2014-189350号公报在板状体的尺寸的大型化和/或两张板状体之间担载有图案等的情况下，有时根据紧贴力的差异等增减设置的剥离器的数量和/或间隔。另外，为了使剥离良好地进行，有时必须将剥离后的板状体间的主面之间所成的角度维持在适当值。为了达到这些目的，需要使多个剥离器恰当地协调动作。在上述现有技术中，剥离器的设置数量较少，它们的间隔也比较大。因此，比较容易使用例如预先通过教学(teaching)工作使装置学习各剥离器的移动时机的方法等来调整动作。但是，当剥离器的设置数量变多时，这样的调整工作变得非常复杂。因此，虽然谋求根据使用材料和目的等，简单地作成用于使多个剥离器协调动作的处理工艺规程的方法，但是这样的方法至今没有确立。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种工艺规程作成方法，该方法在使相互紧贴的两张板状体剥离的剥离装置中，能够简单地优化各个剥离器的动作。本专利技术的一个技术方案是一种使相互紧贴的第一板状体与第二板状体剥离的剥离装置的工艺规程作成方法，为了达到所述目的，所述剥离装置具有多个剥离器，多个剥离器分别具有与所述第二板状体局部抵接来保持所述第二板状体的功能，并且多个剥离器沿着规定的剥离方向排列，所述多个剥离器一边按照沿着所述剥离方向的顺序保持所述第二板状体，一边向远离所述第一板状体的分离方向进行分离移动，由此使所述第二板状体从所述第一板状体剥离，将一边保持所述第二板状体一边向所述分离方向移动的所述剥离器中的位于所述剥离方向上的最下游侧的所述剥离器定义为主剥离主体，该工艺规程作成方法包括：第一工序，针对各个所述剥离器，确定该剥离器作为所述主剥离主体的期间，求出在该期间内该剥离器向所述分离方向的移动速度，第二工序，针对各个所述剥离器，基于在该剥离器变成不是所述主剥离主体后的期间作为所述主剥离主体的其他所述剥离器的移动速度，求出变成不是所述主剥离主体的该剥离器在该期间向所述分离方向的移动速度。在这样构成的技术方案中，多个剥离器协调工作，具体地多个剥离器按照沿着剥离方向的顺序依次向分离方向移动，由此将第二板状体从第一板状体剥离。此时，多个剥离器同时一边保持第二板状体一边向分离方向移动。这些剥离器中的对于处于紧贴状态的第一板状体与第二板状体的剥离起主要作用的剥离器位于剥离方向上的最下游侧，即位于最靠近第一板状体与第二板状体的未剥离的区域的位置。此处将该剥离器称为“主剥离主体”。随着剥离动作的前进，作为主剥离主体的角色向剥离方向的下游侧的剥离器变迁。根据本申请专利技术人的见解，剥离的品质受到相互紧贴的第一板状体与第二板状体分离时的相对速度以及当时的第一板状体与第二板状体的主面之间所成的角度影响。因此，需要一边恰当地控制上述的速度以及角度一边进行剥离。此外剥离的品质的概念表示，在剥离第一板状体与第二板状体时，在这些板状体上或者两者之间担载有图案等的情况下，能够将对该图案等造成的损伤或者应力抑制到何种程度。主要决定上述的速度以及角度的是成为主剥离主体的剥离器。在此意义上，针对在作为主剥离主体的期间的该剥离器的动作，能够在满足剥离良好地前进的条件的范围内设定，而不受其他的剥离器的动作影响。因此，在本专利技术的第一工序中，首先确定各剥离器发挥主剥离主体的功能的期间，求出在该期间的该剥离器向分离方向的移动速度。这样，能够恰当地管理在各剥离器发挥主剥离主体的功能的期间的剥离的前进，良好地使剥离前进。另一方面，当在剥离方向位于更下游侧的其他的剥离器变为发挥主剥离主体的功能时，为了良好地利用该主剥离主体进行剥离，要求作为主剥离主体的工作已经结束了的剥离器发挥使从第一板状体剥离开来的第二板状体保持恰当的姿势的功能。在此意义上，需要使这样的剥离器的动作设定为从属于主剥离主体的动作。因此，在本专利技术的第二工序中，基于发挥主剥离主体的功能的剥离器的移动速度，决定各剥离器的移动速度。这样，能够利用其他的剥离器有效地辅助发挥主剥离主体的功能的剥离器进行剥离。专利技术的效果如上所述，在本专利技术中，在第一工序中求出在各剥离器发挥主剥离主体的功能的期间该剥离器的移动速度。然后，在第二工序中，基于在各剥离器不发挥主剥离主体的功能的期间发挥主剥离主体的功能的剥离器的移动速度，求出不发挥主剥离主体的功能的各剥离器在该期间的移动速度。因此，根据本专利技术，能够简单地作成使各个剥离器的动作最优化的处理工艺规程。附图说明图1是示出本专利技术的剥离装置的一个实施方式的立体图。图2是示出该剥离装置的主要结构的立体图。图3是示出初始剥离单元的结构以及各部分的位置关系的侧视图。图4是示出该剥离装置的电气结构的框图。图5A、图5B、图5C、图5D是示出在剥离动作的过程中各部分的动作的图。图6A、图6B、图6C是示出吸附单元的配置图案不同的例子的图。图7A、图7B是示出辊单元与吸附单元的位置关系的图。图8是示出各个吸附单元的动作顺序的流程图。图9A、图9B、图9C、图9D、图9E是示出剥离辊与吸附单元的位置关系的图。图10是示出剥离辊以及吸附单元的动作的时序图。图11A、图11B、图11C是示意地示出多个吸附单元的剥离动作的图。图12是示出联动的多个吸附垫的动作的时序图。图13是示出将处理工艺规程可视化的明细表的一个例子的图。图14是示出处理工艺规程的作成处理的流程图。图15是示意地示出剥离动作中的一个阶段的图。图16是示出吸附垫的动作决定顺序的图。图17A、图17B、图17C、图17D是示出未设置剥离辊的剥离装置的结构例子以及其动作的图。图18是示出用于执行剥离动作的控制程序的结构的图。图19是示出验证程序的处理内容的流程图。图20A、图20B、图20C是示出显示画面的例子的图。图21A、图21B、图21C是示出吸附垫与基板的位置关系的图。其中，附图标记说明如下：1 剥离装置51～5N 吸附单元(剥离器)70 控制单元340 剥离辊(辊构件)517～5N7 吸附垫(剥离器)701 CPU721 验证程序BL 橡皮布(第一板状体)SB 基板(第二板状体)具体实施方式图1是示出本专利技术的剥离装置的一个实施方式的立体图。为了统一地示出各图中的方向，如在图1右下本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种工艺规程作成方法，是使相互紧贴的第一板状体与第二板状体剥离的剥离装置的工艺规程作成方法，其特征在于，所述剥离装置具有多个剥离器，多个剥离器分别具有与所述第二板状体局部抵接来保持所述第二板状体的功能，并且多个剥离器沿着规定的剥离方向排列，所述多个剥离器一边按照沿着所述剥离方向的顺序保持所述第二板状体，一边向远离所述第一板状体的分离方向进行分离移动，由此使所述第二板状体从所述第一板状体剥离，将一边保持所述第二板状体一边向所述分离方向移动的所述剥离器中的位于所述剥离方向上的最下游侧的所述剥离器定义为主剥离主体，该工艺规程作成方法包括：第一工序，针对各个所述剥离器，确定该剥离器作为所述主剥离主体的期间，求出在该期间内该剥离器向所述分离方向的移动速度，第二工序，针对各个所述剥离器，基于在该剥离器变成不是所述主剥离主体后的期间作为所述主剥离主体的其他所述剥离器的移动速度，求出变成不是所述主剥离主体的该剥离器在该期间向所述分离方向的移动速度。
【技术特征摘要】
2015.03.24 JP 2015-0614891.一种工艺规程作成方法，是使相互紧贴的第一板状体与第二板状体剥离的剥离装置的工艺规程作成方法，其特征在于，所述剥离装置具有多个剥离器，多个剥离器分别具有与所述第二板状体局部抵接来保持所述第二板状体的功能，并且多个剥离器沿着规定的剥离方向排列，所述多个剥离器一边按照沿着所述剥离方向的顺序保持所述第二板状体，一边向远离所述第一板状体的分离方向进行分离移动，由此使所述第二板状体从所述第一板状体剥离，将一边保持所述第二板状体一边向所述分离方向移动的所述剥离器中的位于所述剥离方向上的最下游侧的所述剥离器定义为主剥离主体，该工艺规程作成方法包括：第一工序，针对各个所述剥离器，确定该剥离器作为所述主剥离主体的期间，求出在该期间内该剥离器向所述分离方向的移动速度，第二工序，针对各个所述剥离器，基于在该剥离器变成不是所述主剥离主体后的期间作为所述主剥离主体的其他所述剥离器的移动速度，求出变成不是所述主剥离主体的该剥离器在该期间向所述分离方向的移动速度。2.如权利要求1所述的工艺规程作成方法，其特征在于，在所述第一工序中，在所述分离移动中的各个所述剥离器的移动速度为，使所述剥离方向上的剥离的前进速度达到规定速度所需要的速度。3.如权利要求1或者2所述的工艺规程作成方法，其特征在于，在所述第一工序中，在所述分离移动中的各个所述剥离器的移动速度为，使在该剥离器作为所述主剥离主体的期间结束时，刚剥离后的所述第一板状体的主面与所述第二板状体的主面所成的角达到规定角度所需要的速度。4.如权利要求1或者2所述的工艺规程作成方法，其特征在于，在所述第二工序中，所述分离移动中的各个所述剥离器的移动速度为，在该期间作为所述主...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中哲夫，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。