化学气相反应腔内等离子气体管路制造技术

本实用新型专利技术一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学气相反应腔内设有两个电极盒，管路连接结构包括主管路和两个分支管路，主管路的一端与所述远程等离子系统的输出口相连，主管路的另一端通过转接口与两个分支管路相连通，一个分支管路的端部与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角大小为90°～110°，两个分支管路间的夹角大小为120°～140°。本实用新型专利技术化学气相反应腔内等离子气体管路，优化气体管路内的流体流动性，使远程等离子高温效应最小化，增强了管路的使用寿命。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种管路连接结构，特别涉及一种化学气相反应腔内等离子气体管路。
技术介绍
非晶硅太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的 1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。现有技术中，用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设备，包括真空腔以及电极盒等主要部件。等离子体化学气相沉积真空设备通过远程等离子系统进行清洗，远程等离子系统通过管道把电离化的气体输送到电极盒内，输送过程中气体放热对管道造成损伤，降低了管道的使用寿命。若一个真空设备内具有两个电极盒，则远程等离子系统与电极盒间的管路连接如何降低高温效应成为当前的难题。
技术实现思路
本技术所要解决的问题是提供一种化学气相反应腔内等离子气体管路，克服现有技术中存在的上述问题。本技术一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学反应腔内设有两个电极盒，所述管路连接结构包括主管路和两个分支管路，主管路的一端与所述远程等离子系统的输出口相连，主管路的另一端通过转接口与两个分支管路相连通，两个分支管路的端部分别与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角大小为90° 110°，两个分支管路间的夹角大小为120° 140°。本技术所述分支管路为具有圆角折弯的弯折管。本技术所述分支管路通过法兰固定在所述电极盒顶板上并与电极盒内部相ο本技术所述主管路与分支管路间的夹角为106°。本技术所述两个分支管路间的夹角为129°。本技术所述主管路通过法兰固定在反应腔的顶板上。本技术所述主管路与所述远程等离子系统输出口间形成夹角大小为150° 170°。通过以上技术方案，本技术化学气相反应腔内等离子气体管路，采用转接口将主管路与分支管路连接，并通过主管路与分支管路夹角及两分支管路间夹角的设定，优化管路连接结构内的流体流动性，使远程等离子高温效应最小化，增强了管路的使用寿命。附图说明图1本技术管路连接结构的立体图。图2本技术管路连接结构的侧视图。图3本技术管路连接结构的俯视图。具体实施方式如图1所示，本技术一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学反应腔内设有两个电极盒，管路连接结构包括主管路1和两个分支管路2，主管路1的一端与远程等离子系统的输出口 6相连，主管路1的另一端通过转接口 3与两个分支管路2相连通， 一个分支管路的端部与其中一个电极盒相连通，主管路1与分支管路2间的夹角C大小为 90° 110° (见图2)，两个分支管路间的夹角A大小为120° 140° (见图3)。采用此管路连接结构，通过主管路与分支管路间的夹角与两个分支管路间的夹角大小设计，优化整个管路内的流体流动性设计，降低远程等离子高温效应，增强管路的使用寿命。为更好的实现管路的流体性，分支管路2为具有圆角折弯的弯折管，分支管路2通过法兰5固定在电极盒顶板上并与电极盒内部相通，该法兰5还起到真空密封的作用。为使气体管路达到最优的流体流动性，主管路与分支管路间的夹角C为106°，两个分支管路间的夹角A为129°。主管路1通过法兰4固定在反应腔的顶板上，主管路与远程等离子系统输出口间形成夹角B大小为150° 170°。本技术的气体管路，用于高产能大容积增强型等离子化学气相沉积设备，其主体部分嵌入反应腔内，反应腔外通过真空接口与远程等离子系统相连通，主管路在反应腔内通过转接口 3连接两个分支管路，转接口为三通，分支管路的底端与电极盒顶板通过法兰连接。管路材料与电极盒材料一直，使用铝合金材料。气体管路整体满足真空密封要求，优化管路流体流动性，使远程等离子高温效应最小化，解决了大容积反应腔安装远程等离子系统的难题。权利要求1.一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学气相反应腔内设有两个电极盒，其特征在于，所述管路连接结构包括主管路(1)和两个分支管路O)，主管路的一端与所述远程等离子系统输出口(6)相连，主管路的另一端通过转接口( 与两个分支管路( 相连通， 两个分支管路的端部分别与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角(C)大小为90° 110°，两个分支管路间的夹角(A)大小为120° 140°。2.根据权利要求1所述的等离子气体管路，其特征在于，所述分支管路(2)为具有圆角折弯的弯折管。3.根据权利要求1所述的等离子气体管路，其特征在于，所述分支管路( 通过法兰 (5)固定在所述电极盒顶板上并与电极盒内部相通。4.根据权利要求1所述的等离子气体管路，其特征在于，所述主管路与分支管路间的夹角(C)为106°。5.根据权利要求1所述的等离子气体管路，其特征在于，所述两个分支管路间的夹角 (A)为 129°。6.根据权利要求1所述的等离子气体管路，其特征在于，所述主管路(1)通过法兰(4) 固定在反应腔的顶板上。7.根据权利要求6所述的等离子气体管路，其特征在于，所述主管路与所述远程等离子系统输出口间形成夹角(B)大小为150° 170°。专利摘要本技术一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学气相反应腔内设有两个电极盒，管路连接结构包括主管路和两个分支管路，主管路的一端与所述远程等离子系统的输出口相连，主管路的另一端通过转接口与两个分支管路相连通，一个分支管路的端部与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角大小为90°～110°，两个分支管路间的夹角大小为120°～140°。本技术化学气相反应腔内等离子气体管路，优化气体管路内的流体流动性，使远程等离子高温效应最小化，增强了管路的使用寿命。文档编号C23C16/50GK202201973SQ201120284909公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月5日 优先权日2011年8月5日专利技术者郭锋 申请人:上海曙海太阳能有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭锋，
申请(专利权)人：上海曙海太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：