超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统技术方案

本实用新型专利技术涉及气相色谱仪检测设备，尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅡ（2）之间设有第一分子筛色谱柱（51）；切换阀VⅡ（2）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二分子筛色谱柱（52）；切换阀VⅢ（3）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二柱子分离器（62）。本实用新型专利技术通过各阀对应一个外部事件来控制，其动作的阶次也由事件编制程序执行，这样整体分析过程自动化控制，动作快速一致可靠，系统的数据重复性与准确性由稳定的流量气路和准确无误的阀切换来保证。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种气相色谱仪检测设备，尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统。
技术介绍
目前，国内用于高纯气体分析的气相色谱仪，一般都用采用传统的TCD和FID或氧化锆检测器；它们的检测器大都技术传统或落后，并且对气体中杂质分析选择性很强，一种气体往往要多台色谱分析，而且分析的流程简易分析组份重复地，系统对气路要求不高，使得系统的检测灵敏度大降低；气相色谱分析在多维色谱分离技术方案中，往往要求多达 5-6支色谱分离柱子；而多维色谱柱子之间的气路联接又要专用切换阀来实现；特别是应用于气体分离色谱仪中，多气路独立控温柱箱的设计解决了不同柱温的要求。随着我国工业经济的迅猛发展，气体在工业生产中有着“血液”之称，供需二旺，高纯气体与超高纯气体的生产与供应使得近几年来新的气体行业国家标准，特别是2006年、2008年、2009年等以后颁布执彳丁的标准中，如闻(超闻)纯S、闻(超闻)纯氣、闻纯(超闻)危、闻纯(超闻)気、闻纯(超闻)氧；液氣、液IS、液氧等工业气体和电子工业用气，标准中因规定了使用ng/g( ppb )级高灵敏度的PDHID氦离子化检测器(本文中简称I3DD )，这对本文档来自技高网...

【技术保护点】
超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括载1、载2、载3、载4气路，切换阀VⅠ（1）以及切换阀VⅡ（2）、切换阀VⅢ（3）和切换阀VⅣ（4），其特征在于：切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅡ（2）之间设有第一分子筛色谱柱（51）；切换阀VⅡ（2）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二分子筛色谱柱（52）；切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅢ（3）之间设有针阀（9），切换阀VⅢ（3）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二柱子分离器（62）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李聪，
申请(专利权)人：杭州克柔姆色谱科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：