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本实用新型涉及气相色谱仪检测设备,尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统,包括色谱柱箱以及信号采集处理器,尾气处理器,色谱柱箱包括切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅡ(2)之间设有第一分子筛色谱柱(51);切换阀VⅡ(2)与切换阀VⅣ(...该专利属于杭州克柔姆色谱科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州克柔姆色谱科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及气相色谱仪检测设备,尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统,包括色谱柱箱以及信号采集处理器,尾气处理器,色谱柱箱包括切换阀VⅠ(1)与切换阀VⅡ(2)之间设有第一分子筛色谱柱(51);切换阀VⅡ(2)与切换阀VⅣ(...