【技术实现步骤摘要】
提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置
本技术涉及一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，属于盛装高纯气体的气瓶抽真空处理技术。
技术介绍
高纯气体是常见的工业气体，为确保高纯气体的质量，盛装高纯气体的气瓶要进行抽真空处理。一般抽真空时,被抽空间内有水气时,水气会随着被抽气体进入真空泵中，使真空泵油乳化，粘度降低，既降低抽真空效率，又减少真空泵油的使用寿命。
技术实现思路
技术目的:本技术提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其目的是解决以往在抽真空过程中出现的水气会随着被抽气体进入真空泵中，使真空泵油乳化、粘度降低、抽真空效率降低和真空泵油的使用寿命降低的问题。 技术方案:本技术是通过以下技术方案来实现的: 一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于:该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出口连通。 液氮层内设置有_196°C的液氮，在液氮层的顶部设置有液氮进口和蒸发液氮出□。 在液氮层的外壁还设置有翅片管。 绝热层为多层缠绕的绝热层，其厚度为δ 100?150mm。 优点及效果:本技术提供一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，该装置由内而外主要分为液氮层、被抽真空气体走气层和绝热层，液氮层设置在整个装置的最内层，绝热层设置在三层的最外层，液氮层与绝热层之间形成的空腔为被抽真空气体走气层，被抽真空气体走气层与抽真空进口和抽真空出...
【技术保护点】
一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于：该装置由内而外主要分为液氮层（1）、被抽真空气体走气层（2）和绝热层（3），液氮层（1）设置在整个装置的最内层，绝热层（3）设置在三层的最外层，液氮层（1）与绝热层（3）之间形成的空腔为被抽真空气体走气层（2），被抽真空气体走气层（2）与抽真空进口（6）和抽真空出口（7）连通。
【技术特征摘要】
1.一种提高高纯气体气瓶处理真空泵效率的装置，其特征在于:该装置由内而外主要分为液氮层(I)、被抽真空气体走气层(2)和绝热层(3)，液氮层(I)设置在整个装置的最内层，绝热层(3)设置在三层的最外层，液氮层(I)与绝热层(3)之间形成的空腔为被抽真空气体走气层(2)，被抽真空气体走气层(2)与抽真空进口(6)和抽真空出口(7)连通。2.根据权利要求1所述的提高高纯气体气瓶处理真...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雪峰，张辉，李小光，王鹏，赵大伟，
申请(专利权)人：沈阳洪生气体有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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