嵌入式反应腔制造技术

技术编号:7292846 阅读:174 留言:0更新日期:2012-04-26 04:02
本实用新型专利技术公开了一种嵌入式反应腔,包括反应腔腔体内设有电极盒,所述电极盒包括匀气板和基板,所述匀气板、基板为上下横向设置,所述匀气板和基板之间为电极盒内腔,所述电极盒顶部设有进气口,气体自外接输入管路进入进气口,匀气板上设有小孔阵列,气体从进气口通过小孔阵列,在电极盒内腔进行反应,所述基板上设有排气孔阵列,气体通过排气孔阵列后进入腔体,所述腔体顶部设抽真空管路,进入腔体后的气体通过抽真空管路被排出。本实用新型专利技术通过对嵌入式反应腔的气路设计,使工艺气体的输入和输出完全分开,工艺残余气体不会参与二次反应。在真空低流量高利用率的反应性气体和高浓度气体副产品的工作环境下,取得由上至下均匀非晶硅膜厚和膜特性。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子设备和太阳能电池技术,尤其涉及一种用于真空镀膜的嵌入式反应腔
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右,是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300,与单晶硅太阳能电池相比,制备这种薄膜所用硅原料很少,薄膜生长时间较短,设备制造简单,容易大批量连续生产,根据国际上有关专家的估计,非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。薄膜化学气相沉积设备是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,随着产能扩大,薄膜化学气相沉积设备也朝着高产能大容积的趋势发展。其中,真空镀膜机中的反应腔有了新的设计,该反应腔的腔体内设嵌入式电极盒,电极盒包括勻气板, 电极板,和基板,所述勻气板和基板都是横向且平行设置,电极板垂直设于勻气板和基板之间。工艺镀膜在电极盒内,即在电极板上进行,气体通过勻气板进入电极盒内腔,并进行化学反应,反应后的气体从基板排出。现有技术中,气体的利用并不是很充分,通常气体进入反应腔腔体内就进行反应, 这样导致反应前后的气体混合在一起,不仅气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭锋
申请(专利权)人:上海曙海太阳能有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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