【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子设备和太阳能电池技术,尤其涉及一种用于真空镀膜的嵌入式反应腔。
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右,是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300,与单晶硅太阳能电池相比,制备这种薄膜所用硅原料很少,薄膜生长时间较短,设备制造简单,容易大批量连续生产,根据国际上有关专家的估计,非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。薄膜化学气相沉积设备是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,随着产能扩大,薄膜化学气相沉积设备也朝着高产能大容积的趋势发展。其中,真空镀膜机中的反应腔有了新的设计,该反应腔的腔体内设嵌入式电极盒,电极盒包括勻气板, 电极板,和基板,所述勻气板和基板都是横向且平行设置,电极板垂直设于勻气板和基板之间。工艺镀膜在电极盒内,即在电极板上进行,气体通过勻气板进入电极盒内腔,并进行化学反应,反应后的气体从基板排出。现有技术中,气体的利用并不是很充分,通常气体进入反应腔腔体内就进行反应, 这样导致反应前后的气体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭锋,
申请(专利权)人:上海曙海太阳能有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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