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本实用新型公开了一种嵌入式反应腔，包括反应腔腔体内设有电极盒，所述电极盒包括匀气板和基板，所述匀气板、基板为上下横向设置，所述匀气板和基板之间为电极盒内腔，所述电极盒顶部设有进气口，气体自外接输入管路进入进气口，匀气板上设有小孔阵列，气体从...
该专利属于上海曙海太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海曙海太阳能有限公司授权不得商用。

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