集成电路装置制造方法及图纸

本发明专利技术在层叠了ＤＲＡＭ芯片２０和闪速存储器芯片２２的层叠体２４的上面，配置具有升压电路４０的介入层３０。从而，可实现装置的小型化。另外，作为升压电路４０，采用具有电感器的升压转换器，因此，与采用多个电容器并联而成的充电泵的情况相比，可实现装置的小型化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及集成电路装置，详细地说，涉及具备由包括具有在第1电压下操作的第1集成电路的第1集成电路芯片的集成电路芯片多个层叠而成的层叠体的集成电路装置。
技术介绍
传统，作为该种集成电路装置，提出了具有闪速存储器的闪速存储器芯片多个层叠而成的装置(例如，参照非专利文献1)。该装置中，通过多个层叠闪速存储器芯片，实现装置的小型化。非专利文献1:田中啓安及另外2名，「NAND型闪速存储器」，東芝> ^工一 (Toshiba Review) ,2008 $，Vol. 63, No. 2, p. 28—31。
技术实现思路
闪速存储器中，用于写入存储内容用的写入电压比用于读出存储内容用的读出电压高，因此，上述集成电路装置中，需要将电源电压升压到写入电压后供给闪速存储器芯片的升压供电电路。这样的升压供电电路，即使在电源电压互异的逻辑电路和模拟电路混合搭载的模拟数字混载芯片等的集成电路芯片多个层叠而成的装置中也是必要的，虽然一般形成于集成电路芯片，但是，若在集成电路芯片形成升压供电电路，则集成电路芯片的面积变大，难以实现装置全体的小型化。本专利技术的集成电路装置的主要目的是实现装置全体的小型化。本专利技术的集成电路装置为了达成上述的主要目的，采用以下的手段。本专利技术的集成电路装置，其特征在于，具备 层叠体，其由多个集成电路芯片层叠而成，上述集成电路芯片包括具有在第1电压下操作的第1集成电路的第1集成电路芯片， 在上述层叠体的一个端面配置有介入层，上述介入层具有升压供电电路，上述升压供电电路将从电源侧供给的规定电压升压到上述第1电压后供给构成上述层叠体的上述第1集成电路芯片的上述第1集成电路。该本专利技术的集成电路装置中，在层叠体的一个端面配置介入层，该介入层具有将从电源侧供给的规定电压升压到第1电压后供给构成层叠体的第1集成电路芯片的第1集成电路的升压供电电路。其结果，与将升压供电电路在第1集成电路芯片搭载的情况比，可实现装置全体的小型化。这样的本专利技术的集成电路装置中，上述升压供电电路具备 升压转换器，其具备在被供给上述规定电压的输入端子和供给上述第1电压的输出端子之间串联连接的电感器；在上述电感器和上述输出端子之间串联连接，将电流整流为从上述输入端子朝向上述输出端子的方向的整流元件；在上述电感器和上述整流元件之间，从上述电感器看，与上述输出端子并联连接的开关元件；在上述整流元件和上述输出端子之间，从上述整流元件看，与上述输出端子并联连接的电容器；和在上述整流元件和上述输出端子之间，从上述整流元件看，与上述输出端子并联连接的电阻器；和 开关控制电路，其对上述开关元件进行开关控制。这样，即使具备升压转换器作为升压供电电路时，也可实现装置的小型化。另外，在升压供电电路具备升压转换器和开关控制电路的本专利技术的集成电路装置中，上述开关控制电路控制上述开关元件，以使上述开关元件以随着上述输出端子的电压越高而越高的倾向被调节的频率进行开关。这样，输出端子的电压越高则越缓慢地将电压升压，因此可更适当地将从电源侧供给的规定电压升压到第1电压。上述开关控制电路也可以控制上述开关元件，以使上述开关元件以使上述输出端子的电压成为上述第1电压被调节的频率进行开关。该场合，上述开关控制电路进行以下控制控制上述开关元件，以使上述开关元件，在上述输出端子的电压从上述规定电压达到比上述规定电压高而比上述第 1电压低的第1控制用电压为止，以第1频率进行开关；控制上述开关元件，以使上述开关元件，从上述输出端子的电压达到上述第1控制用电压起，至达到比上述第1控制用电压高而比上述第1电压低的第2控制用电压为止，以比上述第1频率高的第2频率进行开关；控制上述开关元件，以使上述开关元件，从上述输出端子的电压达到上述第2控制用电压起， 至达到上述第1电压为止，以比上述第2频率高的第3频率进行开关；从上述输出端子的电压达到上述第1电压起，停止上述开关元件的开关。能够控制上述开关元件，以使上述开关元件，从上述输出端子的电压达到上述第1电压后降低到上述第2控制电压为止时起，至达到上述第1电压为止，以上述第3频率进行开关。由于在输出端子的电压从规定电压达到第1控制用电压为止，以第1频率开关上述开关元件，在输出端子的电压从达到上述第1控制用电压起，至达到第2控制用电压为止，以第2频率开关上述开关元件，在输出端子的电压从达到第2控制用电压起，至达到第1电压为止，以第3频率开关上述开关元件，因此，输出端子的电压到第1控制用电压为止的过程中，比较迅速地升压，到第2控制用电压为止的过程与到第1控制用电压为止的过程相比，缓慢升压，到第1电压为止的过程与到第2控制用电压为止的过程相比，缓慢升压。这样，可更适当地将电源侧供给的规定电压升压到第1 电压。另外，在输出端子的电压达到第1电压后降低到第2控制电压时，以第3频率开关上述开关元件，直到达到第1电压为止，因此，即使输出端子的电压从第1电压降低时，也可迅速返回第1电压。而且，本专利技术的集成电路装置中，上述升压供电电路具备 升压转换器，其具备在被供给上述规定电压的输入端子和供给上述第1电压的输出端子之间串联连接的电感器；在上述电感器和上述输出端子之间串联连接，将电流整流为从上述输入端子朝向上述输出端子的方向的整流元件；在上述电感器和上述整流元件之间，从上述电感器看，与上述输出端子并联连接的开关元件； 开关控制电路，其采用脉冲信号对上述开关元件进行开关控制。这样，即使具备升压转换器作为升压供电电路时，也可实现装置的小型化。在升压供电电路具备升压转换器和采用脉冲信号进行开关元件的开关控制的开关控制电路的本专利技术集成电路装置中，上述开关控制电路也可以具备 电压检测部，其检测作为上述输出端子的电压的输出电压； 电压变化量检测部，其检测向上述开关元件施加1周期量的上述脉冲信号时的上述输出电压的变化量；以及 开关控制部，其采用上述脉冲信号的频率及占空比、上述检测的输出电压和上述检测的输出电压的变化量，推定与上述输出端子连接的负载电容量，采用以使上述输出电压成为上述第1电压且针对上述推定的负载电容量高效驱动上述升压转换器被调节的频率及占空比的脉冲信号，对上述开关元件进行开关控制。这样，通过改变与输出端子连接的负载电容，可抑制升压转换器中的消耗功率的增加。该场合中，上述开关控制电路具备 第1存储部，其存储作为上述推定的负载电容量的推定负载电容量、上述检测的输出电压以及上述脉冲信号的频率及占空比；和 第2存储部，其存储作为相对于上述负载电容量和上述输出电压，在上述输出电压达到上述第1电压为止由上述升压转换器消耗的能量成为较低的上述脉冲信号的频率及占空比的关系而预先设定的规定关系， 上述开关控制部进行以下控制 在上述检测的输出电压达到上述第1电压为止，上述输出端子与上述第1存储部存储的推定负载电容量的负载连接的状态下，采用上述第1存储部存储的频率及占空比的脉冲信号，推定对上述开关元件进行开关控制时的上述输出端子的电压的变化量， 在上述检测的电压变化量和上述推定的输出端子的电压的变化量的差值小于规定值时，采用上述第1存储部存储的频率及占空比的脉冲信号，对上述开关元件进行开关控制并将上述检测的输出电压存储在第1存储部， 在上本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种集成电路装置，其特征在于，具备：层叠体，其由多个集成电路芯片层叠而成，上述集成电路芯片包括具有在第１电压下操作的第１集成电路的第１集成电路芯片，在上述层叠体的一个端面配置有介入层，上述介入层具有升压供电电路，上述升压供电电路将从电源侧供给的规定电压升压到上述第１电压后供给构成上述层叠体的上述第１集成电路芯片的上述第１集成电路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹内健，
申请(专利权)人：国立大学法人东京大学，
类型：发明
国别省市：JP