节能型多晶硅还原炉制造技术

本实用新型专利技术涉及节能型多晶硅还原炉，包括混合气体进出口组件、底座、底盘、底盘冷却水进出口组件、炉体、夹套冷却水进出口组件、24～36对发热体/电极组成，所述的炉体由内筒体和夹套组成，夹套固定在内筒体上，炉体与底盘采用快开螺栓进行联接，底盘固定在底座上，炉体的夹套上安装冷却水进出口组件，24～36对发热体/电极分别固定在底盘上并插入炉体的内筒体内，混合气体进出口组件和底盘冷却水进出口组件分别安装在底盘上。本实用新型专利技术具有结构合理、省材、反应温度平稳，反应率和产品质量高，电耗和运行费用低等特点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及使用于光伏产业，电子工业的立式圆筒形反应器即还原炉，具体地涉及多晶硅生产中三氯氢硅和氢气进行还原反应的节能型多晶硅还原炉。
技术介绍
用西门子改良法生产的多晶硅的重要设备——多晶硅还原炉。国内多晶硅厂目前使用的大多是8-12对发热体/电极的还原炉，其单台炉生产能力小，电耗大，每生产IKg多晶硅，需耗电80-100度以上。现有的8 12对发热体/电极的还原炉，混合气体进气直接由还原炉底盘进气口进入炉内，气体进入还原炉内边界层多，分布不均勻，还原炉内反应率低，多晶硅沉积棒外表面凹凸不平、水晶等现象，沉积质量差。为了加速冷却效果，现有的还原炉内筒体和夹套间都装有螺旋流导流板，其阻力大，在还原炉内反应温度波动较大时，由于螺旋导流板对冷却水的阻力和流速的限制，不能保证还原炉内最佳的反应温度和减小还原炉上下段的温差。
技术实现思路
本技术的目的为了克服国内同类型产品存在的技术缺陷和问题，而提供一种节能型多晶硅还原炉。本技术达到提高还原炉的反应率，提高产量和多晶硅沉积棒的质量，节约电能，降低多晶硅生产成本等。本技术的技术方案为节能型多晶硅还原炉，包括混合气体进出口组件、底座、底盘、底盘冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．节能型多晶硅还原炉，包括混合气体进出口组件、底座、底盘、底盘冷却水进出口组件、炉体、夹套冷却水进出口组件、２４～３６对发热体／电极组成，所述的炉体由内筒体和夹套组成，夹套固定在内筒体上，其特征在于：炉体与底盘采用快开螺栓进行联接，底盘固定在底座上，炉体的夹套上分别安装冷却水进出口组件，２４～３６对发热体／电极分别固定在底盘上并插入炉体的内筒体内，混合气体进出口组件和底盘冷却水进出口组件分别安装在底盘上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛建设，刘宏，朱永翔，严义松，陶婷，黎武信，
申请(专利权)人：武汉三联节能环保工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：83