下载节能型多晶硅还原炉的技术资料

文档序号:6814734

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本实用新型涉及节能型多晶硅还原炉,包括混合气体进出口组件、底座、底盘、底盘冷却水进出口组件、炉体、夹套冷却水进出口组件、24~36对发热体/电极组成,所述的炉体由内筒体和夹套组成,夹套固定在内筒体上,炉体与底盘采用快开螺栓进行联接,底盘固定...
该专利属于武汉三联节能环保工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉三联节能环保工程有限公司授权不得商用。

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