基板输送机器人制造技术

本实用新型专利技术提供结构简单并且刚性优良的基板输送机器人。为下述基板输送机器人(R)：具有能够旋转地设置的旋转结构体(20)、能够相对于该旋转结构体(20)升降地设置的升降单元(30)、设置在了该升降单元(30)中的臂(50、60)；旋转结构体(20)具有旋转结构基础部(21)和竖设在该旋转结构基础部(21)上的一对支柱(22、22)；臂(50)为多个臂片(51、52)能够屈伸地连接的结构，并且为臂(50)的顶端能够经过一对支柱(22、22)之间进退移动到臂进入时位置和臂后退时位置的结构；升降单元(30)具备比支柱(22、22)偏移到臂进入一侧而设置的升降框(40)；臂(50)的根端部被连接在该升降框(40)上。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及输送薄板状工件的输送机器人，尤其涉及输送薄板状玻璃基板等 基板的基板输送机器人。
技术介绍
作为现有技术的基板输送机器人，有例如具备四边形框体、能够上下运动地设置 在该框体的框内的2个臂支承用结构体(4A、4B)、设置在各臂支承用结构体(4A、4B)上的多 关节臂的双臂型机器人(参照专利文献1)，所述四边形框体由能够旋转地设置的下侧连接 板(11)、设置在下侧连接板(11)上的2根支柱(1A、1B)、以及连接两支柱(1A、1B)上端的 上侧连接板(12)构成(参照专利文献1)。并且，还具有具备能够旋转地设置的一根柱(支柱)(1 、沿该柱(1 上下运动的 上下移动机构(11)、通过支承部件(10)设置在上下移动机构(11)上的上下臂(21、22)的 多关节机器人(参照专利文献2)。日本特开2005-150575号公报日本特许第4168410号公报但是，前者双臂型机器人中，2个多关节臂分别设置在不同的臂支承用结构体 (4A、4B)上，能够与另一方的多关节臂相独立地上下运动。因此，该双臂型机器人能够改变 两多关节臂的分隔距离，但保持在一定的分隔距离或者精度良好地将各多关节臂定位在预 定位置上不一定容易。而且，有必要防止两臂支承用结构体(4A、4B)的冲突等，多关节臂的 上下运动控制不得不变得复杂。另一方面，后者的多关节机器人中，上下臂(21、2幻通过支承部件(10、10)被安装 在一个上下移动机构(11)上，两臂01、22)的上下的分隔距离被固定。因此，该多关节机 器人中没有两支承部件(10)的冲突，两臂01、22)的上下运动控制复杂化的可能性也小。 但是，该多关节机器人由于只用一根柱(1 支承着两臂01、22)，因此处理大型工件(大型 基板)时在机器人(柱(1 )的刚性方面不一定足够。
技术实现思路
本技术就是鉴于这样的问题，以提供结构简单并且刚性良好的基板输送机器 人为课题。本申请技术为这样的基板输送机器人具有能够旋转地设置的旋转结构体、 能够相对于该旋转结构体升降地设置的升降单元、以及被设置在该升降单元中的臂；上述 旋转结构体具有旋转结构基础部和被竖设在该旋转结构基础部上的一对支柱；上述臂为多 个臂片能够屈伸地被连接着的结构，并且为臂的顶端能够经过上述一对支柱之间而进退移 动到臂进入时位置和臂后退时位置的结构；上述升降单元具备比上述支柱偏移到臂进入一 侧而设置的升降框；上述臂的根端部被连接在该升降框上。并且，上述升降框为用上下配置的上基底部件和下基底部件以及将该两支承部件互相连接的左右纵框部件构成的框体；作为上述臂，具有设置在了各基底部件上的第1臂 和第2臂；各臂的根端部分别被设置在各基底部件的长度方向中间位置上。并且在上述各支柱上设置有能够沿支柱高度方向升降的升降体；比上述支柱偏移 到臂进入一侧的上述升降框通过升降框支承部件被安装到用该一对升降体构成的升降部 上。并且，上述升降框的上述下基底部件比上述升降框支承部件偏移到下方向而配置。并且，上述升降框支承部件用从上述升降部的各升降体延伸到臂进入一侧的支架 构成。而且，上述旋转结构体的旋转轴、上述第1臂的根端部的旋转轴以及上述第2臂的 根端部的旋转轴都是沿铅垂方向延伸的轴；上述旋转结构体的旋转轴配置在上述旋转结构 基础部的中间位置上；上述旋转轴和上述两旋转轴配置在沿臂进入后退方向扩展的同一垂 直平面上。技术的效果本申请技术的基板输送机器人由于是具备具有旋转结构基 础部和竖设在该旋转结构基础部上的一对支柱的旋转结构体，将臂设置在了能够升降地设 置在了该旋转结构体上的升降单元中的的结构，因此结构简单并且刚性好。并且，由于臂的 顶端能够经过一对支柱之间进退移动到臂进入时的位置和臂后退时的位置，因此能够活用 刚性好的结构，能够在稳定的状态下进退移动。并且，基板输送机器人的升降单元具备比支柱偏离到臂进入一侧设置的升降框， 臂的根端部连接在该升降框上，因此在使臂进入的状态下臂顶端的旋转半径增大与偏离量 相等的量。即，如果采用本申请技术的基板输送机器人，能够在比臂的最大行程长度长 的大旋转半径范围内输送基板。并且，能够输送更大型的工件。由于升降框为用上下配置的上基底部件和下基底部件以及将该两基底部件互相 连接的左右纵框部件构成的框体，因此为刚性好的坚固的结构。并且，在该升降框的各基底 部件上设置了第1臂或第2臂，将各臂的根端部配置在了各基底部件的长度方向中间位置 上。即，各臂被设置成平衡好、稳定的状态。由此，更确实地确保刚性好的结构。并且，由于通过升降框支承部件将升降框安装到了用能够升降地设置在了各支柱 上的升降体构成的升降部上，因此不仅维持简单的结构而且确保刚性好的结构。并且，如果 使升降框的下基底部件比升降框支承部件偏离到下方向配置的话，当使升降框下降到最下 时，能够使下基底部件下降到比旋转结构体的旋转结构基础部靠下的位置。由此，能够降低 相对于工件搬入搬出处的基板输送机器人的搬入搬出最低访问高度。并且，如果用从升降 部的各升降体延伸到臂进入一侧的支架构成升降框支承部件的话，不仅维持简单的结构而 且确保刚性好的结构。而且，由于将旋转结构体的旋转轴配置在旋转结构基础部的中间位 置上，并且将该旋转轴和第1臂的根端部的旋转轴和第2臂的根端部的旋转轴配置在沿臂 进入后退方向展开的一垂直平面上，因此各臂进退移动时的平衡良好，不仅维持简单的结 构而且确保刚性好的结构。附图说明图1为表示本申请技术的基板输送机器人的立体图；图2为表示图1的基板输送机器人的俯视图；图3为表示图1的基板输送机器人的侧视图；图4为表示图1的基板输送机器人的主视图。附图标记说明10.台座；11.旋转支承部；20.旋转结构体；21.旋转结构基础部；21a.旋转轴； 22.支柱；23.旋转结构上框；24.盖体；25.升降体；250.升降部；30.升降单元；310.升降 框支承部件；31.支架；40.升降框；41.上基底部件；42.下基底部件；43.纵框部件；43a. 上部载置台；43b.下部载置台；50.上臂(第1臂)；50a.上臂根端部(根端侧臂片的根端 部)；50b.上臂顶端部(顶端侧臂片的顶端部)；51.根端侧臂片；52.顶端侧臂片；53.手 部；60.下臂(第2臂)；60a.上臂根端部(根端侧臂片的根端部)；60b.上臂顶端部(顶 端侧臂片的顶端部)；61.根端侧臂片；62.顶端侧臂片；A.旋转方向；B.支柱长度方向(高 度方向，铅垂方向)；C.臂进退移动方向；Ca.臂进入一侧；Cb.臂后退一侧；R.基板输送机 器人；W.基板。具体实施方式下面参照附图详细说明本申请技术的基板输送机器人。如图1所示，基板输送机器人R具有能够旋转地(参照图1的箭头A)设置在了台 座10的旋转支承部11 (参照图3)上的旋转结构体20、能够升降地设置在了旋转结构体20 上的升降单元30、以及设置在了升降单元30中的臂50、60。旋转结构体20具有被图中没有表示的电动机等驱动源驱动旋转地设置在了旋转 支承部11上的旋转结构基础部21、竖设在了旋转结构基础部21上的一对支柱22、22、将一 对支柱22、22的上端互相固定的旋转结构上框23。利用这样的双柱结构能够实现刚性本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基板输送机器人，具有能够旋转地设置的旋转结构体、能够相对于该旋转结构体升降地设置的升降单元、以及被设置在该升降单元中的臂；上述旋转结构体具有旋转结构基础部和被竖设在该旋转结构基础部上的一对支柱；上述臂为多个臂片能够屈伸地被连接着的结构，并且为臂的顶端能够经过上述一对支柱之间而进退移动到臂进入时位置和臂后退时位置的结构；上述升降单元具备比上述支柱偏移到臂进入一侧而设置的升降框；上述臂的根端部被连接在该升降框上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安藤宽晃，坂梨浩彦，新堀刚史，荒木德将，峰康司，
申请(专利权)人：平田机工株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP