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本实用新型提供结构简单并且刚性优良的基板输送机器人。为下述基板输送机器人(R)：具有能够旋转地设置的旋转结构体(20)、能够相对于该旋转结构体(20)升降地设置的升降单元(30)、设置在了该升降单元(30)中的臂(50、60)；旋转结构体(...
该专利属于平田机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过平田机工株式会社授权不得商用。

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