【技术实现步骤摘要】
本技术涉及连续溅射镀膜设备中真空室之间隔断用的门阀装置，尤其是该门 阀的传动结构。
技术介绍
目前的PVD (物理气相沉积)技术，即在真空中对靶材进行蒸发、溅射，使靶材(陶 瓷、合金等)上的分子附着并沉积在沉底(玻璃、有机物、金属等其他相关材料)上的方法， 需要在本底真空度达到高真空(10-1 10-6Pa)的条件下进行，这就要求连续式镀膜设备 的各部分设计必需有良好的密闭性，而镀膜设备中的活动部分恰是薄弱环节。门阀的传动 不稳定会直接影响到腔体真空度的保持，从而影响正常工业生产。现有的门阀传动采用气缸拨叉传动，基本可满足目前低端产品的要求，但其旋转 角度误差大，传动不精确，使得密封效果差。随着对产品质量要求的不断提高和对高端产品 的研发，对真空度的要求也随之增长。现有的门阀传动系统的密封效果已经很难为后续生 产服务，为达到较高的真空度和真空稳定性只能增加真空泵的数量，使得成本提高。
技术实现思路
针对上述问题，本技术旨在提供一种传动更精确并能有效增强密封效果的门 阀传动结构。为实现该技术目的，本技术的方案是一种镀膜设备用的门阀传动结构，包括 提供动力的气缸、安装于支架上的门板组件，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动 连接组成，所述气缸通过齿条齿轮传动结构连接至主轴，该主轴传动连接压块，带动门板组 件动作。所述齿条齿轮传动结构包括固定连接在气缸活动端上的齿条，通过联轴器固定在 主轴上的齿轮，所述齿条和齿轮传动啮合。本结构的有益效果是传动方法简单实用，传动效能高，控制精确。结构紧凑，传动 灵活，门阀转动无死角，门阀能紧密贴合真空室，密封效果非常理想。因为采用...
【技术保护点】
一种镀膜设备用的门阀传动结构，包括提供动力的气缸、安装于支架上的门板组件，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动连接组成，其特征在于：所述气缸通过齿条齿轮传动结构连接至主轴，该主轴传动连接压块，带动门板组件动作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，唐贵民，黄启耀，姜翠宁，王珏，闫都伦，王克斌，
申请(专利权)人：深圳新南亚技术开发有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
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