一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备制造技术

本实用新型专利技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本实用新型专利技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种能够成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来的设备，具体涉及一种柔性带材真空溅射预抽真空处理设备。
技术介绍
—般的真空溅射设备由于没有经过预抽真空设备(或装置)进行预抽真空处理， 对于柔性带材内的空气和挥发性气体都不能提前抽出来。在真空溅射主体设备进行一次性 抽真空，时间长、能耗高，且溅射到基体上的靶材微粒附着力小，成品浸润性差，易造成后道 工序出现质量问题。
技术实现思路
本技术为了弥补现有技术的不足，提供了一种柔性带材真空溅射预抽空处 理设备，克服原有在真空溅射主体设备进行一次性抽真空的不足之处，将柔性带材内部的 空气和挥发性气体抽出来，提高真空溅射的抽真空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着 力，改善成品浸润性，实现提高真空溅射产品质量之目的。 本技术是通过如下技术方案实现的 本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特殊之处在于包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材巻的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。 本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，每个预抽真空罐内的芯轴上都带有分散孔。 本技术的柔性带材真空i 有缓冲罐。 本技术的柔性带材真空i 器。 本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，缓冲罐与预抽真空罐之间安装 有真空传感器。利用真空计实现自动控制真空度。 本技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出 来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成 品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。鬼射预抽空处理设备，真空泵与预抽真空罐之间连接鬼射预抽空处理设备，进气管的进气端设有空气滤清附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为电路示意图。 图中，1真空泵，2预抽真空罐，3充气阀，4分抽空阀，5真空计，6主抽空阀，7缓冲 罐，8空气滤清器，9真空传感器，10抽气管，11进气管。具体实施方式附图为本技术的一种具体实施例。 本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵1和通过抽气管10与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐2，预抽真空罐通过分抽空阀4连接抽气管、通过充气阀3设有进气管11 ，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材巻的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计5 ;真空泵安装有主抽空阀6。每个预抽真空罐内的芯轴上都带有分散孔。真空泵与预抽真空罐之间连接有缓冲罐。进气管的进气端设有空气滤清器8。缓冲罐7与预抽真空罐2之间安装有真空传感器9。利用真空计实现自动控制真空度。 本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，通过双位开关控制充气阀3、分抽空阀4。利用每个预抽真空罐2内装有带分散孔的芯轴提高抽真空速度和均匀性。各个预抽真空罐2可以单独开闭取放巻及预抽真空。该设备利用真空计5实现自动控制真空度，真空范围1X10—工 500Pa连续可调。缓冲罐7有效避免某一预抽真空罐开闭时设备真空度波动过大。 预抽真空工作原理滑阀真空泵工作，将预抽真空罐内的空气挥发性气体经芯轴分散孔、分抽空阀4、抽气管10、缓冲罐7、主抽空阀6到滑阀真空泵l，然后排到大气中。 该实施例的预抽工艺(以生产泡沫镍的基体——泡绵为例)如下所示打开预抽罐一放置柔性带材巻一关闭预抽罐一设置真空度一抽空一充气一开罐取巻。 1.打开预抽空罐 观察罐体真空表是否处于真空状态，若罐内是真空状态，将双位开关从抽空位置拨到充气位置，这时抽空阀关闭，充气阀打开，空气进入罐内，真空解除即可开门。 2.放置柔性带材巻 将预抽真空关擦拭干净，然后把柔性带材巻(例如泡绵)装在罐内心轴上。 3.关闭预抽空罐 关闭预抽空罐，紧固手轮，确保密封良好。 4.设置真空度 将最低真空度设置为500Pa，最高真空度设置为1 X 10—中a，启动滑阀真空泵。 5.抽空 将双位开关从充气位置拨到抽空位置，充气阀关闭，这时抽空阀打开，预抽罐进入抽空状态。柔性带材巻的材质和长短不同，真空度和保持时间也不相同。以泡绵为例，其保持时间应为12 24小时。 6.充气 在设定的真空度下，保持到规定时间后，将双位开关从抽空位置拨到充气位置，这时抽空阀关闭，充气阀打开，空气进入罐内，真空解除即可开门。 7.开罐取巻 将预抽空处理后的巻取出，交下道工序。再次放巻进入下一循环。权利要求一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于包括真空泵(1)和通过抽气管(10)与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐(2)，预抽真空罐通过分抽空阀(4)连接抽气管、通过充气阀(3)设有进气管(11)，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计(5)；真空泵安装有主抽空阀(6)。2. 根据权利要求1所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于每个预抽真空罐(2)内的芯轴上都带有分散孔。3. 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于真空泵(1)与预抽真空罐(2)之间连接有缓冲罐(7)。4. 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于进气管的进气端设有空气滤清器(8)。5. 根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于缓冲罐(7)与预抽真空罐(2)之间安装有真空传感器(9)。专利摘要本技术的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。本技术的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。文档编号C23C14/56GK201506832SQ20092022712公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月22日 优先权日2009年9月22日专利技术者刘俊林, 孟国强, 宋小斌, 张强, 李常兴, 毕研文, 江衍勤, 王乃用, 罗衍涛, 苏衍宪 申请人:菏泽天宇科技开发有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：包括真空泵（１）和通过抽气管（１０）与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐（２），预抽真空罐通过分抽空阀（４）连接抽气管、通过充气阀（３）设有进气管（１１），每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计（５）；真空泵安装有主抽空阀（６）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毕研文，宋小斌，王乃用，刘俊林，江衍勤，罗衍涛，张强，孟国强，李常兴，苏衍宪，
申请(专利权)人：菏泽天宇科技开发有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：37[中国|山东]