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本实用新型的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还...
该专利属于菏泽天宇科技开发有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过菏泽天宇科技开发有限责任公司授权不得商用。

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