一种真空镀膜冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。该真空镀膜冷却装置，包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设在壳体外壁的溅射电源相连；所述冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。本实用新型专利技术为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在-10℃～80℃范围内可控；本实用新型专利技术冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。

【技术实现步骤摘要】
（一）
本技术涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。（二）
技术介绍
泡沫金属是一种具有海绵状三维多孔结构的金属材料。连续泡沫金属（例如：泡沫镍）的规模化生产开始于21世纪初，是一种应用领域广泛的新技术材料。其中泡沫镍、泡沫铜可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料，汽车催化剂转换器、催化燃烧、柴油车黑烟净化器的催化剂载体，可用作过滤器材料，处理流体中磁性粒子的磁流导体，用于储氢媒介、热交换媒介。随着泡沫金属的应用领域的不断扩大，泡沫金属的生产效率和成本成为其生产企业的瓶颈问题。在泡沫金属的生产过程中涉及泡沫金属产品模芯导电化处理过程，模芯导电化处理可采用真空镀膜技术、化学镀或浸涂导电胶的方法。真空镀膜工艺具有产品纯度高、无污染，成品阻值均匀等显著优势，在泡沫金属生产中已逐步替代化学镀和浸涂导电胶工艺。用于连续泡沫金属生产模芯导电化处理过程的真空镀膜过程要在10-1Pa高真空环境下进行。由于真空状态下热量的对流、辐射要比大气状态下差得多。真空镀膜时，镀膜区域温度达到300℃，这就会造成高分子泡绵基体材料结构的损伤，从而影响了泡沫金属的产品质量。（三）
技术实现思路
本技术为了弥补现有技术的不足，提供了一种真空镀膜冷却装置，可以为镀膜区域提供良好的温度环境，改善镀膜区域的冷却条件，降低膜芯的温度，进而提高泡沫金属产品的质量。本技术是通过如下技术方案实现的：一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为平面，冷却装置为长方体冷却板。所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道；所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。所述壳体内连接有密封室，密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管；所述冷却板上端设有回水管，下端设有进水管。所述阴极靶表面为弧面，冷却装置为圆柱形冷却辊。所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊；所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连；所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管；所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连；所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却管道相连，冷却管道另一端连接有回水管；所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。所述冷却管道末端设有通水口，该通水口交错排列。所述壳体内连接有密封室，密封室通过法兰固定连接有冷却辊；所述密封室内设有与壳体相通的进水道和出水道，进水道与设在壳体外的进水孔相连，出水道与设在壳体外的出水孔相连；所述冷却辊内部设有中空的中轴，该中轴内设有输水管；所述输水管一端通过进水道与进水口相连，输水管另一端与进水管相连；所述进水管与设在冷却辊表面内的冷却盘管相连，冷却盘管另一端连接有回水管；所述回水管与中轴连接，该中轴通过出水道与出水孔相连。镀膜设备工作时，设备抽到一定的真空度，冲入氩气，根据工艺要求开启镀膜电源，阴极靶材在工作介质的作用下，以一定的能量和速度附着到膜芯上。同时冷却介质经冷却板（辊）的进水口，经内部的焊接盘管或加工成型的冷却管道流到回水口，再通过密封室将真空镀膜产生的热量带到镀膜室外。依此反复循环实现膜芯的直接冷却。本技术的有益效果是：本技术为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在-10℃～80℃范围内可控；本技术冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯（高分子泡绵基体材料）结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。（四）附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1为本技术平板式结构示意图。图2为本技术旋转式结构示意图。图3为本技术冷却板示意图。图4为本技术冷却辊示意图。图中，1牵引辊，2膜芯，3阴极靶，4冷却装置，5过渡辊，6放卷机构，7收卷机构，8壳体，9密封室，10溅射电源,11循环管,12冷却管道，13回水管，14进水管，15通水口，16进水道，17出水道，18中轴，19输水管。（五）具体实施方式实施例1该实施例如图1所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰；所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4；所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连；所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上；所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面，冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道12；所述冷却板上端设有回水管13，下端设有进水管14。所述冷却管道末端设有通水口15，该通水口15交错排列。膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却板上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。实施例2该实施例如图1所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰；所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4；所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连；所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上；所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶3表面为平面，冷却装置4为长方体冷却板。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管。膜芯2由放卷机构6经过渡辊5到牵引辊1，以一定的角度贴附在冷却板上，最后经牵引辊1、过渡辊5到收卷机构7实现整个传动。实施例3该实施例如图2所示，包括壳体8，壳体8上下分别设有法兰；所述壳体8内壁上设有N组相对的阴极靶3和冷却装置4；所述冷却装置4与循环管11相连，阴极靶3与设在壳体8外壁的溅射电源10相连；所述冷却装置4与密封室9连接，该密封室9固定在壳体8内壁上；所述溅射电源10通过PCL控制器控制。所述阴极靶表面为弧面，冷却装置4为圆柱形冷却辊。所述壳体8内连接有密封室9，密封室9通过法兰固定连接有冷却辊；所述密封室9内设有与壳体8相通的进水道16和出水道17本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷
却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁
上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源等通过PCL
控制器控制。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述阴极靶表面为平面，冷
却装置为长方体冷却板。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述壳体内连接有密封室，
密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道；所述冷却板上端设有回水管，
下端设有进水管。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述冷却管道末端设有通水
口，该通水口交错排列。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述壳体内连接有密封室，
密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管；所述冷却板上端设有回水管，下端
设有进水管。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述阴极靶表面为弧面，冷
却装置为圆柱形冷却辊。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乃用，刘俊林，李伟，苏衍宪，孟国强，李常兴，邢寻勇，钱亚杰，韩珅，田利，
申请(专利权)人：菏泽天宇科技开发有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37