一种真空镀膜冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。该真空镀膜冷却装置，包括壳体，壳体上下分别设有法兰；所述壳体内壁上设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设在壳体外壁的溅射电源相连；所述冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。本实用新型专利技术为镀膜区域提供良好的温度环境，其膜芯温度在-10℃～80℃范围内可控；本实用新型专利技术冷却机构与膜芯充分接触，利用冷却机构里的冷却介质将膜芯上的热量带走。避免造成膜芯结构的损伤，从而达到提高泡沫金属的产品质量之目的。

【技术实现步骤摘要】
（一）
本技术涉及泡沫金属生产领域，特别涉及一种真空镀膜冷却装置。（二）
技术介绍
泡沫金属是一种具有海绵状三维多孔结构的金属材料。连续泡沫金属（例如：泡沫镍）的规模化生产开始于21世纪初，是一种应用领域广泛的新技术材料。其中泡沫镍、泡沫铜可用于镍氢电池、燃料电池的电极材料，汽车催化剂转换器、催化燃烧、柴油车黑烟净化器的催化剂载体，可用作过滤器材料，处理流体中磁性粒子的磁流导体，用于储氢媒介、热交换媒介。随着泡沫金属的应用领域的不断扩大，泡沫金属的生产效率和成本成为其生产企业的瓶颈问题。在泡沫金属的生产过程中涉及泡沫金属产品模芯导电化处理过程，模芯导电化处理可采用真空镀膜技术、化学镀或浸涂导电胶的方法。真空镀膜工艺具有产品纯度高、无污染，成品阻值均匀等显著优势，在泡沫金属生产中已逐步替代化学镀和浸涂导电胶工艺。用于连续泡沫金属生产模芯导电化处理过程的真空镀膜过程要在10-1Pa高真空环境下进行。由于真空状态下热量的对流、辐射要比大气状态下差得多。真空镀膜时，镀膜区域本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源等通过PCL控制器控制。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜冷却装置，其特征在于：包括壳体，壳体内设有N组相对的阴极靶和冷
却装置；所述阴极靶固定在壳体内壁上，冷却装置与密封室连接，该密封室固定在壳体内壁
上；所述冷却装置与循环管相连，阴极靶与设备的溅射电源相连；所述溅射电源等通过PCL
控制器控制。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述阴极靶表面为平面，冷
却装置为长方体冷却板。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述壳体内连接有密封室，
密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有N条冷却管道；所述冷却板上端设有回水管，
下端设有进水管。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述冷却管道末端设有通水
口，该通水口交错排列。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述壳体内连接有密封室，
密封室通过螺母固定有冷却板，该冷却板设有冷却盘管；所述冷却板上端设有回水管，下端
设有进水管。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜冷却装置，其特征在于：所述阴极靶表面为弧面，冷
却装置为圆柱形冷却辊。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜冷却装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王乃用，刘俊林，李伟，苏衍宪，孟国强，李常兴，邢寻勇，钱亚杰，韩珅，田利，
申请(专利权)人：菏泽天宇科技开发有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37