具有机械手臂的转盘式连续溅镀机制造技术

本发明专利技术关于一种具有机械手臂的转盘式连续溅镀机，包括：一腔体、复数个溅镀源、一转盘、一分割器、一第一气缸、一第二气缸以及一机械手臂模块；其中，该溅镀源设置于该腔体上，该转盘则设置于该腔体之中作旋转运动，且该转盘中央连接一转轴，由该分割器连接该转轴以驱使该转盘转动；此外，该第一气缸用于升降该转盘，该第二气缸用以区分大气侧及真空侧，该机械手臂模块则设置于该腔体外侧用以取放工件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种溅镀机，其特别关于一种具有机械手臂的 转盘式连续賊镀机。
技术介绍
真空溅镀技术是真空镀膜领域中的重要技术之一，其基本原理是 在高真空环境中散布钝气，如氩气，并设置具有高电位差的二金属板，一为阴极(cathode ), —为阳极(anode ),阴极装载的是把材(target), 阳极则装载待镀工件，当氩正离子受电场加速而轰击阴极的靶材表面， 靶材表面原子受撞击后则飞向阳极的待镀工件，并在待镀工件的表面 沉积而形成薄膜。一般而言，真空溅镀制程中所使用的多为连续式的溅镀设备，由 于连续式溅镀设备多采用直列式(In-Line)的设计，每一个溅镀制程 以腔体进行连接，而形成连续式多腔体(Multi-chambers )的作业流程， 使得入料区与出料区距离过远,而产生设备体积庞大、占用空间的缺 点。按，于2007年08月21日公告的中国台湾专利技术专利第1285914专 利证号，名称为「快速连续式溅镀设备的构造」，揭露一种连续式 溅镀设备，如图l所示，该设备至少包含入料区1、溅镀区2及出料区 3;其中，入料区1的入口与出料区3的出口位于该设备的同一侧，入 料区1与溅镀区2之间设有一高真空区11;賊镀区2与出料区3之间 则设有一暂存区21,该暂存区21可提供侧向传送功能，俾将基材侧向 传送至与入料区1同侧的出料区3。然而，该创作虽将入料区与出料区改良至同一侧，节省了一部分 该溅镀设备所占用的空间，但在多个腔体连接排列的情况下，空间节 省的效果相当有限；另外，即使该创作亦思及采用环状架构设计，但4仍是相当地耗费空间。因此，有鉴于习知一般连续式溅镀设备在空间使用上所产生的缺 点，本专利技术的专利技术人特用心研发出一种具有机械手臂的转盘式连续溅 镀机，去改善习知直列式连续溅镀设备的缺失。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种具有机械手臂的转盘式连续溅镀机，包括 一腔体、复数个溅镀源、 一转盘、 一分割器、 一第一气缸、 一第二气缸以及一机械手臂模块；其中，于该腔体内设有一进料取料区及复数个溅镀区；该复数个溅镀源设置于该腔体上，并分别对应于 该复数个溅镀区；该转盘设置于该腔体之中作旋转运动，并设有复数 个工件置放区对应于该进料取料区及溅镀区，且该转盘中央连接一转 轴；该分割器连接于该转轴，以驱动该转盘；该第一气缸用于升降该 转盘；该第二气缸用以区分大气侧及真空侧；该机械手臂模块设置于 该进料取料区外侧，用以取放工件。其中，该工件置放区更包括设有一抽气通孔。其中，该分割器可藉由一外部动力源提供动力，以驱动该转盘。其中，该第二气缸设置于该腔体下方对应于该进料取料区的位置， 并以一轴体连^妄一圓盘。其中，该机械手臂模块更包括 一手臂本体，两端设有取放机构 以取放工件； 一旋转缸，连接于该手臂本体中央，以旋转该手臂本体； 以及一第三气缸，设置于该旋转缸下方，以升降该旋转手臂。其中，该转盘式连续溅镀机更具有一承载架，以承载该分割器及 转轴。其中，该承载架下方连接该第一气缸，并由该第一气缸升降该承 载架，进而升降该转盘。故本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机，采取让该转盘作持 续性旋转运动的方式进行溅镀，取代习用直列式连续溅镀设备，以改 善其占用大空间的缺点，同时，该旋转手臂模块的设计，以自动化的方式取代人工取、放工件，可达到节省人力的效能。 附图说明图1为说明习知溅镀设备的构造示意图2为说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机的立体示意图3为说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机的分解示意图4为说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机的旋转手臂 模块立体分解图5a、图5b及图5c为说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅 镀机的旋转手臂模块作动示意图；以及图6为说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机的侧视图。图号说明1转盘式连续溅镀机11腔体111进料取料区112賊镀区12溅镀源13转盘131工件置》文区1311 4由气通孔132转轴14分割器141外部动力源15第一气缸16第二气缸161轴体162圆盘17机械手臂模块171手臂本体1711取放机构172旋转缸173第三气缸18承载架19高真空帮浦具体实施例方式为使熟悉该项技艺人士了解本专利技术的目的、特征及功效，兹藉由下述具体实施例，并配合所附的图式，对本专利技术详加说明，说明如后请参考图2及图3，说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续賊镀机 的立体示意图及分解示意图，该转盘式连续溅镀机l包括 一腔体ll、 复数个溅镀源12、 一转盘13、 一分割器14、 一第一气缸15、 一第二 气缸16以及一机械手臂模块17;其中，该腔体U设有一进料取料区 Ul及复数个溅镀区112;该复数个溅镀源12设置于该腔体11上，并 分别对应于该复数个賊镀区112;该转盘13设置于该腔体11之中作旋 转运动，并设有复数个工件置放区131对应于该进料取料区111及溅 镀区112,且该工件置方丈区131设有一抽气通孔1311;该分割器14则 由一外部动力源141提供动力以驱使该转盘13转动；该第一气缸15 用于升降该转盘13;该机械手臂模块17则设置于该进料取料区111外 侧，用以取放工件。再者，该转盘式连续溅镀机1更具有一承载架18,以承载该分割 器14及转轴132，且该承载架18下方连接该第一气缸15,并由该第 一气缸15升降该承载架18，以升降该分割器14及转轴132，进而带 动该转盘13升降以便于转动。另外，该第二气缸16设置于该腔体11 下方对应于该进料取料区111的位置，并以一轴体161连接一圆盘162 以区分大气侧及真空侧。请参考图4,说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连续溅镀机的旋转 手臂模块立体分解图，该机械手臂模块17更包括 一手臂本体171、 一旋转缸172以及一第三气缸173,其中，该手臂本体171两端设有取 放机构1711以取放待镀工件及镀毕工件；该旋转缸172设置于一座体 1721之上以连接于该手臂本体171,以旋转该手臂本体171进行取放 工件的动作；该第三气缸173则设置于该旋转缸172及该座体1721下 方，并设有一承载盘1731,当该第三气缸173的活塞杆1732伸出，即 顶升该座体1721及该旋转缸172,进而顶升该手臂本体171,当该活 塞杆1732缩回，则该座体1721下降位于该承载盘1731上，该旋转缸 172及手臂本体171亦随之下降。此外，该旋转手臂模块17的取放机构1711符合该进料取料区111 的构型，当该第三气缸173，动该旋转手臂模块17下降，该取放机构71711即落入该进料取料区111之中， 一方面可进行进冲牛取料的动作， 另一方面则可密封该进料取料区111,以防止漏真空的现象发生。请参考图5a、图5b及图5c,说明本专利技术具有机械手臂的转盘式连 续溅镀机的旋转手臂模块作动示意图，首先，如图5a所示，当该第三 气缸173尚未顶升该座体1721，该座体1721紧靠着该承载盘1731; 接着，如第五b图所示，当该第三气缸173顶升该座体1721,该座体 1721、该旋转缸172与该手臂本体171即往上移动，该旋转缸172继 而将该手臂本体171作180度旋转；然后，如第五c图所示，当该第 三气缸173带动该座体1721下降，该座体1721则再度紧靠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有机械手臂的转盘式连续溅镀机，包括：　一腔体，设有一进料取料区及复数个溅镀区；　复数个溅镀源，设置于该腔体上，对应于该复数个溅镀区；　一转盘，设置于该腔体中作旋转运动，且该转盘中央连接一转轴；　复数个工件置放区，设置于该转盘上，对应于该进料取料区及溅镀区；　一分割器，连接于该转轴，使该转盘作旋转运动；　一第一气缸，用以升降该转盘；　一第二气缸，用以区分大气侧及真空侧；以及　一机械手臂模块，设置于该进料取料区外侧，用以取放工件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈政勋，姚朝祯，
申请(专利权)人：钰衡科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]