用于操作直列式涂敷装备的方法技术

本发明专利技术涉及用于操作直列式涂敷结构的方法，该结构包括２ｎ＋１个室，其中ｎ为整数，并且其优选值为２。因此，在该装置的两个室之间至少有一个门可以被打开和关闭两次，也有可能涂敷同样装备的尺寸过大的衬底。门的打开和关闭促使压强过程与标准操作相比发生改变。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。为了涂敷衬底，使用了溅射装备，其中粒子在真空条件下从所谓的目标物上溅射出去，并且该粒子接着淀积于衬底上。在该处理中，如果衬底持续通过互锁被转移到溅射装备中，并且再通过互锁被转移出溅射装备，则将谈及直列式(in-line)涂敷装备或“穿通式(pass-through)”涂敷装备。这种装备要么由相对较小的但相互连接的单室形成的线性结构组成，要么由在线路每一端具有真空转换锁的两个大室组成。所提供的该处理室或沿着一个大室，或位于每一个单室中。已知直列式溅射系统，它包括三个同心圆柱，内部圆柱和外部圆柱形成带有圆柱壁的环形室(US 5 753 092)。中间的圆柱位于内外圆柱之间，具有开口支持衬底，作为圆柱支持物，它基本上填充了环形转换室，并且是逐梯级可旋转的。进而可知用于带有涂敷片段的衬底的免缺陷涂敷的设备，它包括真空涂敷部件和出入口互锁(DE 200 22 564 U1)。另外，这里提供了运送器，它包括用于容纳衬底的运送器插件。所实施的运送器路径为封闭的路径。在直列式涂敷装备中，为了节约空间，人门知道通过提供回收室来减少所需支持物的数量(JP 2002309372 A)。该支持物在这里与衬底一起在第一个方向移动，旋转大约180度，然后在第二个方向移动。将已知设备的室裁剪到衬底的特定尺寸。如果要处理尺寸过大的衬底，则必须使用带有更大室的不同设备。因此，本专利技术提出了仅使用一个涂敷设备就能够涂敷正常的衬底以及尺寸过大的衬底这一问题。该问题通过本专利技术的特征得以解决。因此，本专利技术涉及用于操作直列式涂敷装置的方法，该装置由2n+1个室组成，其中n为整数，优选为2。通过能够打开和关闭位于该装备的两个室之间的至少一个门，使得有可能用同样的装备来涂敷尺寸过大的衬底。通过与标准操作相比较，打开和关闭这些门促使了压强过程的改变。本专利技术所取得的优势特别包括对可用装备的较好利用。附图示出了本专利技术的实施例例子，下面将对附图作进一步详细讲述。在附图中附图说明图1为三室涂敷装备的侧视图，图2为五室涂敷装备的侧视图，图3为三室涂敷装备的平面图，图4为五室涂敷装备的平面图，图5为五室涂敷装备的截面侧视图的一部分。图1示出了涂敷装备1的侧视图。该涂敷装备1包括三个室向内转移室2、处理室3和向外转移室4。总共有四个门位于不同的室2、3、4之间和室2、4的入口处，这些门能够在真空密闭的情况下被打开和关闭。在图1中这些门自身不可见，但是内外螺纹头5至8可见，用以指示这些门的位置。待涂敷的衬底，例如，扁平的建筑玻璃、金属板、Si晶片、合成材料板及其类似物，引入到向内转移室2中，然后在处理室3中得到涂敷，并且经由向外转移室4将其导出。该衬底的移动可以有或没有这些室2、3、4的支持。不过，在任何情况下，在室2、3、4中都提供有用于传送衬底的传送系统。9至17表示抽气泵，它将室2、3、4抽至特定的压强值，这些泵放置于室的侧壁上。不过，它们也可以被放置于室的顶壁上。室2至4的尺寸由最大衬底尺寸来决定，例如在建筑玻璃情况下，尺寸为2.54m×3.66m或3.21m×6.00m。室的个数决定于预想的最小循环时间。从将第一衬底输入到室2中直到将第二衬底输入到同一个室2中为止的时间消耗，可以通过循环时间来理解。通常，对于最长达到约90秒的循环时间，使用了所谓的三室原理，如图1中所示。当门开时，这里在内外螺纹头5处将衬底引入到室2中，当门再次在内外螺纹头5处关闭和在内外螺纹头6处关闭，通过泵9至11将室2的内部压强减少到例如0.05mbar。由于在内外螺纹头6处的门开始也是关闭的，并且必须通过该门使衬底停止移动，因此通常位于支持物或运送器上的衬底的移动是不连续的。当向内转移室2中的压强达到例如0.05mbar的特定值，则在内外螺纹头6处的门被打开，并且衬底被连续移动通过室3，其中获得有真空。在室3中，涂敷因此得以实现。在涂敷之后，衬底通过向外转移室4被转移到外部。由于衬底必须在向内转移室2中保留相对长的时间，因此在三室涂敷装备中的循环时间相对较长，以便在室中能够取得特定的低压。使用如图2所示的五室涂敷装备20能够获得更短的循环时间。与三室涂敷装备1相比较，该五室涂敷装备20在带有相应的泵23、24的内外螺纹头25、26处，包括两个额外的缓冲室21、22。由于在五室涂敷装备20中的衬底可以被更快地移动通过室2、21、3、22、4，因此循环时间会更短。这种更快的移动是由于室2、21或22、4被抽成真空不同于图1的三室系统中的室2、4被抽成真空这一事实。在五室涂敷装备20中，衬底在装入时，被不连续地移动到向内转移室2中，在向内转移室2中的压强减少到约15mbar，而不是想在三室装备中的那样被减少到0.05mbar。在下一时刻，衬底通过互锁被转移到缓冲室21中，并且使缓冲室21中的压强接近于处理室3中的压强。在衬底被连续移动通过处理室3时，衬底经由缓冲室22和向外转移室4获得大气压后，被拿到外面。在五室涂敷装备20的情况下，循环时间基本上被减少到小于90秒，因此使得进入涂敷装备的衬底的向内转移处理与向外转移处理2和缓冲室21分开，并且因此能够并行的在两个室中发生处理，例如，在衬底从向内转移室2被传送到缓冲室21中之后，就有可能将另一个衬底引入到向内转移室2中。为了能够将衬底引入到处理室3中，位于处理室3前面的室中的压强必须被减少到约0.05mbar。在三室涂敷装备1中，这种到0.05mbar的压强下降仅发生在向内转移室2中。与之相对照的是，在五室涂敷装备20的情况下，向内转移室2的压强仅从大气压被抽到约15mbar，并且使用的衬底因此被转移到缓冲室21中。当在位于向内转移室2和缓冲室21之间的内外螺纹头6处的门打开时，压强得到均衡。在缓冲室2 1中，该压强严重低于0.05mbar。该室先前朝向处理室3开放，其中，例如获得了3×10-3mbar的压强。因此，缓冲室21自身最初根本不需要被抽成低压。因此，其中获得了15mbar压强的向内转移室2，当在内外螺纹头6处的门已被打开后，与其中仅获得了3×10-3mbar压强的缓冲室21相连，因此在相等尺寸的室2和21中的总压强减少到大约7mbar的平均压强值。当在内外螺纹头6处的门已被关闭后，通过从大约7mbar抽空到大约0.05mbar来使缓冲室21中的压强得到减少。当将衬底从缓冲室21带入到处理室3中时，在向内转移室2已被充满和接着在内外螺纹头5处的门已被打开之后，用于下一个衬底的向内转移处理在向内转移室2中已经可以被再次启动。由于门被打开，在向内转移室2中再次获得大气压，向内转移室2的大气压随后再次下降到15mbar。因此，向内转移室2的压强在大气压和约15mbar之间波动。与此相对照，缓冲室21仅经历从7mbar到0.05mbar的压强改变。当对真空装备的室中进行抽空时，压强下降的发生依据的是指数函数。从大约1000mbar到大约15mbar的压强改变发生得相对较快。与此相对照，进一步抽成低压，例如0.05mbar，将需要更长的时间。不同类型的真空泵，例如叶片式旋转(vane-type rotory)泵、罗茨(Roots)泵或涡轮分子(turbomolecular)泵，在不同的压强范围内具有它本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于操作直列式涂敷装备的方法，该直列式涂敷装备带有向内转移室（２）、邻接的缓冲室（２１）、与之邻接的处理室（３）、与之邻接的再一个缓冲室（２２），以及与之邻接的向外转移室（４），其中在各个室之间提供有门（６１、６４、６５、６２），这些门可以被打开和关闭，并且内向转移室（２）、缓冲室（２１、２２）和向外转移室（４）被设计成相同的模块，用于容纳大到指定最大尺寸的衬底，其特征在于，对于大于这些模块的衬底（５５）的涂敷，位于向内转移室（２）和缓冲室（２１）之间的门（６１）以及位于缓冲室（２２）和向外转移室（４）之间的门（６２）被打开，并且缓冲室（２１、２２）的压强条件与向内转移室（２）或向外转移室（４）的压强条件相互适应。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：霍尔格里歇特，曼弗雷德魏曼，
申请(专利权)人：应用材料有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]